| 研究概要 |
(1)新たな測定手法に合致したシミュレーション解析を行った.すなわち,ホログラム面に相当する箇所において,インボリュート基準歯面からの反射光と,球面波なる参照光による位相情報を記録する.ついで,基準歯面の位置に設定した測定対象歯面にビームを照射するとき,もし,測定対象歯面が基準歯面と全く同じ歯面形状であれば,さきに作成したホログラムからの第1次の回折光は,参照光と同様の球面波となり,それは光軸上の焦点においてフラウンホーファー回折像を結ぶ.これをシミュレートすることによりフレネル解析を適用した本シミュレート法の正しさを確認した.この数値計算法を,基準歯面とは異なる形状偏差をもつ測定対象歯面に適用した.その結果,光軸上の焦点における輝度分布が,形状偏差の形態,および,その偏差量によってどのように変化するかをシミュレートして,本方法により形状偏差の検出が可能かの見極めをつけた.
(2)本測定法に適合した実験装置を構築した.それにより,形状偏差の形態,その偏差量と,焦点における像の輝度およびその分布と数値計算による結果との対応を調べた.実験装置における焦点位置での輝度の測定にはピンホール,送り台などを必要とし,あわせて,既存のCCDカメラを用いての測定により,歯面形状偏差の迅速な検出が可能かを検証した.
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