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円筒形平行平板バリアー放電装置(直径:150mm、誘電体:パイレックスガラス、厚さ0.5〜1.0mm、放電空間長d0.1〜2.0mm可変)を製作した。放電は2枚のデスク型の電極間に誘電体を設置して、誘電体と一方の電極間に放電を維持するバリアー放電である。供給ガスはO_2で0.5l/min〜4l/minの範囲で流量を変えてO_3の濃度を測定した。電源は、60Hzの商用周波数を用いトランスで昇圧して10kVまでの電圧を印加した。O_3濃度は254nmの紫外線の吸収を測定して、紫外線の吸収率より求めた。得られた結果の一例は次の通りである。消費電力p=4W一定とし、O_2供給ガス流量1.5l/min、誘電体厚さ0.5mmのときdを0.2〜2.0mmまで変化するとO_3濃度は約d=1mmのとき最大値を取り約5000ppmとなった。O_2よりO_3の生成過程をO_2からOへの解離とそれに続くOとO_2とO_2を媒体とした3体衝突によるO_3の生成とし、一方O_3の解離はOとO_3の解離再結合及び、O_3と電子の衝突によるOとO_2への解離を考慮したレート方程式より計算して、O_3生成量を計算した。その結果、O_3の生成量の計算値はほぼ実験値と一致し、合理的な結果を得た。
今後これらの実験及び計算を更に行い、より高濃度のO_3を生成するための放電の条件を求める。また、放電空間的移行等による高濃度O_3の生成について検討し、研究を行う予定である。
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