| 研究概要 |
クリーンルームや真空中で使用可能な非接触機構として,磁気浮上システムが検討されてきた.既存の磁気浮上システムは,電磁石や永久磁石により,非接触浮上が実現されているが,必ず複数の不安定自由度を有するためフィードバック制御が不可欠であった.本研究では,テーブルの剛体6自由度運動のうち,最小の1自由度のみを制御することで,完全非接触浮上が可能な,永久磁石反発型磁気浮上システムの実現を目的とする.提案するシステムは,テーブル固定側に反発力を発生させる4組の永久磁石を配置する構造とし,数値シミュレーションにより,移動方向を除く5自由度が安定となる永久磁石の配置条件を明らかにした.試作システムでは,不安定な移動方向1自由度をワイヤで拘束し,他の5自由度が安定であることを確認した.また,ワイヤで移動方向を引っ張ることで,安定な駆動範囲が3mmあることが明らかにした.さらに,テーブルの5自由度方向の静・動特性を測定した.
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