2000 年度実績報告書

光音響顕微鏡システムによる新素材内部欠陥の高速3次元計測法の開発

研究課題

研究課題/領域番号	12750393
研究機関	金沢工業高等専門学校
研究代表者	南出章幸金沢工業高等専門学校, 電気工学科, 講師 (20259849)
キーワード	光音響顕微鏡システム / 3次元計測 / 非破壊検査 / 材料評価 / 拡張同時多周波数計測法
研究概要	(1)拡張同時多周波数計測法を使う3次元画像化の検討光音響信号の新しい高速測定法(拡張同時多周波数計測法)を提案し、この拡張同時多周波数計測法を3次元画像計測に適用するために見直しを図った。 (2)拡張同時多周波数計測法を導入するためのハードウェアの構築拡張同時多周波数計測法を光音響顕微鏡システムに組み込むため、(1)レーザダイオード、(2)光を強度変調するためのマルチファンクションシンセサイザ、(3)信号を観測するためのBoxcar積分器を組み込んだ。 (3)計測・制御処理ソフトの開発 (2)で構築した新しいシステムを正確に動作させるための計測・制御処理ソフトを開発した。