液晶ディスプレイの廉価な次世代生産技術

2001 年度 実績報告書

• 研究課題/領域番号: 12792007
• 研究機関: 北陸先端科学技術大学院大学
• 研究代表者: 松村 英樹 北陸先端科学技術大学院大学, 材料科学研究科, 教授 (90111682)
• 研究分担者: 和泉 亮 北陸先端科学技術大学院大学, 材料科学研究科, 助手 (30223043) ; 新田 晃平 北陸先端科学技術大学院大学, 材料科学研究科, 助教授 (70260560) ; 寺野 稔 北陸先端科学技術大学院大学, 材料科学研究科, 教授 (90251975) ; 木田 健一郎 株式会社石川製作所, システム機器開発部, 研究員 ; 増田 淳 北陸先端科学技術大学院大学, 材料科学研究科, 助手 (30283154)
• キーワード: インプリント技術 / リソグラフィー / パターン転写 / 薄膜トランジスタ / 液晶ディスプレイ

研究概要

本研究は、液晶ディスプレイに用いられる薄膜トランジスタ(TFT)製造の際のパターン転写技術に関するものである。現行のパターン転写は、試料上のフォト・レジストにパターンの描かれた光を照射することにより行っているが、本研究では、高分子薄膜を試料に密着させ、その上からパターンの描かれた原版を圧着して凹凸のパターンを高分子膜上に形成する、いわゆるインプリント方式の印刷技術を用いる新規手法により、液晶ディスプレイの廉価な生産技術を提供することを目的としている。
昨年度は、高分子薄膜としてポリエチレン、ポリスチレンなどを使用してパターン転写実験を行い、従来法と同程度の特性を持つTFTの製作に成功したが、凹凸パターンの凹部と凸部の面積比によっては、パターン原版圧着圧力が大きくなることを見出した。今年度は、まず、これを克服するため、有機膜の下の感光性膜を敷く2層構造を提案し、任意のパターン形状で低圧力、高速転写がfきる手法を開発した。さらに、その成果にもとづき、パターン原版がローラーになっているローラー型パターン転写装置を開発し、これにより連続的にパターン転写ができるようにし、今年度の研究目的を達成した。

研究成果

• [文献書誌] 木田健一郎, 松村英樹: "インプリント法によるTFT作製"平成13年秋季応用物理学会学術講演会講演予稿集. vol.62. 588-588 (2001)
• [文献書誌] M.Sakai, T.Tsutsumi, T.Yosioka, A.Masuda, H.Matsumura: "High Performance amorphous-silicon thin film transistors prepared by catalytic chemical vapor deposition with high deposition rate"Thin Solid Films. vol.395. 330-334 (2001)
• [文献書誌] H.Matsumura, A.Masuda, A.Izumi: "Cat-CVD Technology as a New Tool for Fabrication of Larg Area Display"Proc. of the 2nd mt. Display Manufactuing Conf., Seoul, Jan., 2002. 143-146 (2002)
• [文献書誌] Koh-hei Nitta: "Structural factors controlling tensile yield deformation of semi-crystalline nolymers"Macromolecular Symposia. vol.170. 311-319 (2001)
• [文献書誌] Y.W.Shin, T.Uozumi, M.Terano, K.Nitta: "Synthesis and Characterization of Ethylene-Propylene Random Copolymers with Isotactic Propylene Sequence"Polymer. vol.42. 9611-9615 (2001)
• [文献書誌] H.Kono, H.Mon, M.Terano: "ovel olefin block copolymer, polypropene-block-poly(methylene-1,3-cyclopentane-co-propene),synthesized from propene and 1,5-hexadiene with modified stopped-flow method"Macromol. Chem. Phys. vol.202,no.8. 1319-1326 (2001)