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1)数ミクロンからサブミクロンオーダの単結晶シリコンカンチレバーで、先端に探針を有するものの作製に成功した.
シリコンの結晶方位による異方性を用いてカンチレバーと探針を形成しているため、極めて精度の高い作製が可能となった.これにより、スケーラブルな作製方法が実現され、形状と寸法精度が全体の大きさや、フォトリソグラフィー装置の精度に大きく依存しないことを確認した.この作製手法により、一平方センチメートルあたり、数100万個のカンチレバーの作製が可能となった.
2)光学顕微鏡とカンチレバーを用いて、カンチレバーごとに干渉計、もしくは光てこを構成する実験行った.
CCD等の受光素子で、光てこ輝度と干渉輝度を検出し、同時検出を行っている.光学系の最適化と、可視化手法の研究を行った.
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