| 研究概要 |
CRT用シャドウマスクの高精度化を図るためには,エッチングマスクとなるホトレジストと素地金属の密着性を改善することが重要である。そのためには,まず,ホトレジストの密着性を定量的に評価する方法が必要である。本研究では,ホトレジストの密着性を電気化学的に評価する方法を開発することを目的として一連の検討を行い,以下のような成果を得た。
1.電気化学的測定法による密着性の定量的評価方法の開発:シャドーマスク材料であるFe-36Ni合金上に,カゼインを主成分とするホトレジストを用いて密着性不良を人為的に再現した試料を作製した。この試料を用いて各種の電気化学的測定を行い,密着性不良の検出に最適の方法を探索した。その結果,0.1M-Na_2SO_4+0.003M-NaCl中において0.3V(vs.Ag/AgCl)でアノード分極すると,密着性不良部にすき間腐食が発生し,電流が上昇することを発見した。このような定電位アノード分極法を用いると密着性を定量的に評価できることが分かった。
2.ホトレジストとエッチング素材の密着性に影響を与える因子の検討:ホトレジストの作製工程(素材のアルカリ脱脂・洗浄・乾燥,レジストコート,プレベーク,露光,現像,硬膜・ポストベーク)のうち,前処理工程の影響について検討した。その結果,アルカリ脱脂剤濃度は10%が最適であり,これ以下では濃度が低いほど密着性不良が発生しやすくなることが分かった。また,乾燥温度および乾燥時間にも各々最適の条件があり,温度は333K,時間は600sのときに密着性は最も良くなることが判明した。
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