| 研究課題/領域番号 |
13305010
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| 研究種目 |
基盤研究(A)
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| 配分区分 | 補助金 |
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| 応募区分 | 一般 |
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| 研究分野 |
応用物理学一般
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| 研究機関 | 東北大学 |
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研究代表者 |
江刺 正喜 東北大学, 未来科学技術共同研究センター, 教授 (20108468)
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| 研究分担者 |
田中 秀治 東北大学, 大学院・工学研究科, 助教授 (00312611)
小野 崇人 東北大学, 大学院・工学研究科, 助教授 (90282095)
羽根 一博 東北大学, 大学院・工学研究科, 教授 (50164893)
芳賀 洋一 東北大学, 大学院・工学研究科, 講師 (00282096)
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| 研究期間 (年度) |
2001 – 2003
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| キーワード | マイクロマシニング / マイクロマシン / ナノマシン / MEMS / センサ / アクチュエータ / データストレージ / 振動子 |
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| 研究概要 |
半導体微細加工技術をベースとした「マイクロマシニング」によって、センサやアクチュエータを集積化させた分布型マイクロ・ナノマシンを作ることを目的に、本研究ではナノ駆動機構とその関連技術について、設計、製作、物理現象の解明を行った。高密度記録で、多数のプローブにより同時に記録や読出ができるマルチプローブデータストレージの開発を行い、ダイアモンドヒータプローブで基板上のポリマ薄膜に熱機械的に記録するもの、ダイアモンドプローブによる強誘電体に記録するもの、また導電性ポリア薄膜に通電して記録し導電性変化で読み出すものなどを開発した。カーボンナノチューブなどによる電界放射電子源と静電レンズを組み合わせた集束電子ビーム源を多数配列させ、非接触データ記録や並列電子ビーム露光を行う装置に関する基礎実験を行った。圧電セラミックス基板を加工して一体型(モノリシック)の6軸ステージを製作した。これは走査プローブ顕微鏡を始め、本研究で進めている各種マルチプローブデータストレージやマルチ鏡筒電子ビーム露光装置、あるいは細胞レベルのMRI装置などに用いることができる。またサブミクロンの間隔で多数の対向電極構造が分布した分布型静電マイクロアクチユェータを製作した。この他、静電力によるチノ駆動機構を持つマルチプローブやボータイアンテナ型光プローブ、極薄薄膜の共振周波数変化を用いた高感度センサなどの研究成果も得ており、研究目的を達成した。
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