| 研究課題/領域番号 |
13355018
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| 研究機関 | 北海道大学 |
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研究代表者 |
武笠 幸一 北海道大学, 大学院・工学研究科, 教授 (00001280)
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| 研究分担者 |
有田 正志 北海道大学, 大学院・工学研究科, 助教授 (20222755)
武藤 俊一 北海道大学, 大学院・工学研究科, 教授 (00114900)
末岡 和久 北海道大学, 大学院・工学研究科, 助教授 (60250479)
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| キーワード | MR / SPM |
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| 研究概要 |
フォトリソグラフィーおよび電子線リソグラフィー等の微細加工技術を用い、微小磁気抵抗効果素子を搭載したSPM用プローブの試作を行った。ウェットエッチング時に素子薄膜が侵食を受け感度が低下する等の問題があったが、ドライエッチングとの組み合わせを行い、プローブ作製プロセスを最適化することにより、これを解決した。また素子の信号対雑音比を向上し、プローブ表面にパターニングした信号引き出し配線の抵抗成分の寄与を低減するために、4端子測定が可能な信号引き出し配線配置の設計を行い、これを製作した。プローブ上に試作した磁気抵抗効果素子の検出性能についてMR曲線の測定などによる評価を行った。
MR素子のサイズをさらに小さくするために、電子線リソグラフィーの実験条件に関する最適化を行い、これの試作を行った。性能評価に関しては次年度実施する予定である。
MR素子として検出感度の高いスピンバルブ膜等の使用を可能にするために購入したマルチターゲットスパッタ装置の単層膜の成膜実験条件の最適化を行った。作成しの単層薄膜の膜構造についてはSTM/AFMを用い、その磁気特性についてはSQUIDによる磁化測定を行い評価した。多層膜センサの作成は次年度実施する予定である。
ICテスタとしての実験準備として、電子線リソグラフィーにより作製したくし形電極パターンを用い、金配線からの誘導磁界の測定を行い、現時点で作製したSMRM用センサプローブの検出感度等の定量評価を行った。
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