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(1)膜の微細構造の分析
成膜条件と斜め配向構造との関係を調べた。その結果、蒸着角度に対してそのほぼ半分の角度で針状の微細構造が成長すること、これは蒸着材料に依存しないことが確かめられた。特に、蒸着材料としてSiO_2を用いた場合には極めて明瞭な針状構造が形成されることを見出した。この構造は、その針状構造間に種々の物質を充填させるためのホスト構造としても興味があり、今後の新しい人工異方性材料の研究に発展する可能性がある。
(2)デバイス応用
斜め蒸着膜が偏光分離効果のほかに波長板(位相版)としての効果があることは、Ta_2O_5を蒸着材料として用いた従来の斜め蒸着の研究により確認されていた。本研究では新たにY_2O_3も材料に加え、波長板の作製技術の開発を行った。用途は、光ディスクの光ピックアップ系や液晶プロジェクタ用波長板である。微細構造による光の散乱の発生を抑えるため、蒸着角を50度とした。膜厚が3.8μm、針の成長角が22度のとき波長633nmにおいて、位相差が目的とした1/4波長板の値にほぼ等しい88度を得ることができた。透過率も高く、今後の実用化が期待できる。
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