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[文献書誌] T.Watanabe, J.Murota, et al.: "Atomic-Order Thermal Nitridation of Si(100) and Subsequent Growth of Si"J. Vac. Sci. Technol. A.. Vol.19, No.4, PartII. 1907-1911 (2001)
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[文献書誌] D.Muto, J.Murota, et al.: "Self-limited Layer-by-Layer Growth of Si by Alternated SiH_4 Supply and Ar Plasma Exposure"AVS 48^<th> International Symposium. 179 (2001)
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[文献書誌] 奥田慶文, 大見俊一郎, 酒井徹志: "Sub-20nm 新構造 Double-Gate MOSFET"第49回応用物理学関係連合講演会講演予稿集. 29p-H-12/II (2002)
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[文献書誌] 安西邦夫, 大見俊一郎, 酒井徹志, 他: "ECRスパッタ法により形成したAlN薄膜へのAr/O_2プラズマ照射の効果"第49回応用物理学関係連合講演会講演予稿集. 30a-A-2/II (2002)
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[文献書誌] 酒井徹志, 他: "第2版 応用物理ハンドブック"丸善株式会社 8.5(第10章10.1:酒井担当分). (2002)