| 研究課題/領域番号 |
13450382
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| 研究機関 | 大阪府立大学 |
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研究代表者 |
白井 正充 大阪府立大学, 工学研究科, 教授 (00081331)
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| 研究分担者 |
岡村 晴之 大阪府立大学, 工学研究科, 助手 (10316010)
陶山 寛志 大阪府立大学, 工学研究科, 助手 (90305649)
角岡 正弘 大阪府立大学, 工学研究科, 教授 (50081328)
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| キーワード | 光架橋 / 感光性高分子 / 熱分解 / 再溶解 / エポキシ / 光酸発生剤 / フォトレジスト |
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| 研究概要 |
光照射により一度架橋・硬化した樹脂を、加熱し、架橋構造を熱分解することによって再度溶剤に溶解させる事ができる機能を持った、高感度な感光性高分子を開発することを目的に研究し、以下の成果を得た。
1.共重合体型熱分解性光架橋高分子の合成と特性評価
熱分解サイトとしての3級アルコールのカルボン酸エステル部位あるいは3級アルコールのフェノールエーテル部位と、架橋サイトとしてのエポキシ基やビニルエーテル基を同一側鎖に有するモノマーを合成する。これらモノマーとスルホン酸エステルモノマーの共重合体を合成し、光酸発生剤や光塩基発生剤との組み合わせにより、高感度で架橋し、その後の加熱で水に再溶解する光架橋高分子を開発した。
2.ブレンド型熱分解性光架橋高分子の合成と特性評価
熱分解部位と架橋部位を同一分子中に含む多官能性の熱分解型架橋剤を合成した。熱分解サイトとしては、3級アルコールのカルボン酸エステル基を利用した。光誘起酸による架橋部位としては、エポキシ基を利用した。ポリビニルフェノールやカルボキシル基含有ポリマーをベースポリマーとし、これらとのブレンド系を構築し、光酸発生剤や光塩基発生剤との組み合わせにより光架橋・硬化するが、加熱により分解による系を構築した。
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