| 研究概要 |
本年度実施計画の下記の3項目について以下の成果が得られている。
1.2光子共鳴4光波混合による157.6nm光の発生
768nmと681nmの単一モードチタンサファイアレーザを開発した。768nmの3倍波(256nm)をXe 6p[5/2,2]に2光子共鳴させ、681nnmと混合することにより、157.6nmを発生した。得られた平均出力は0.6mW,スペクトル幅0.008pmで目標を達成した。〔論文1,2〕この光源はギガフォトン株式会社でF_2レーザーリソグラフィーに使用する高分解能分光器の分解能装置関数の決定に用いられた。
2.KBBFを用いた2倍波によるVUV光発生
中国科学アカデミーのChen教授より提供されたKBBF結晶の両側に2つのプリズムを光学接着して使用した。上記チタンサファイアレーザーの波長を680nmに設定し、その4倍波により170nmを発生した。これは2倍波発生で得られた最短波長である。また市販の準CW光源(355nm)の2倍波により、177nmを発生させ、超高分解能光電子分光に使用している。〔論文3,4〕
3.KBBFを用いた5倍波による157.6nm光発生
上記チタンサファイアレーザーの波長を780nmに設定し、その5倍波により156nmを発生した。この波長は非線形結晶で得られた世界最短波長である。157.6nmではμWレベルの出力が得られた。
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