| 研究分担者 |
山本 弘 日立建機(株), 技術開発センタ, 主任研究員
巨 陽 東北大学, 大学院・工学研究科, 助手 (60312609)
祖山 均 東北大学, 大学院・工学研究科, 助教授 (90211995)
赤松 里志 電子磁気工業(株), 開発課, 技師(研究職)
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| 研究概要 |
本研究は高分解能化と画像化による,現場対応を視野に入れた欠陥の高速定量評価を狙い,ミリ波(マイクロ波の中の高周波数30〜300GHzのもの)による接触媒質不要型・非接触・非破壊計測技術の展開とイメージングコンパクトシステムの確立を目指したものである。本年度は以下の実績を得た。
1.イメージングコンパクトシステムの構築
従来,マイクロ波等の研究に実験室で使用されている大型でかつ高価なネットワークアナライザシステムに代わり,現場への活用に適したイメージングコンパクトシステムの具体的構成を詳細に設計し,ミリ波出力信号の強度,周波数等を最適化した。設計結果に基づき,ミリ波コンポーネンツ,ミリ波オシレータ,高速スキャニング用小型XYおよびZ軸ステージ,イメージ表示用パーソナルコンピュータを使って試験型システムを試作した。さらに試作したシステムにおけるミリ波の発生,送信,受信,計測等部分の測定・調整を,現有のネットワークアナライザを使用して実施し,システムの最適化を図り,コンパクトシステムの所期の機能を達成した。
2.反射型ミリ波集束センサの開発
楕円体面からなる反射ミラーを利用したミリ波集束センサを開発した。従来の誘電体レンズ型センサと異なり,ミリ波が空気中のみを伝播するため,レンズより生じる余分な減衰や反射が発生しない,感度が高いという特徴がある。開発したセンサについて,現有のネットワークアナライザを使用して,センサの分解能と感度等を測定し,これによりセンサの設計を最適化した。これにより高い空間分解能で,かつ十分なリフトオフ距離を有する実用型集束センサを実現した。
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