| 研究課題/領域番号 |
13555036
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| 研究機関 | 神戸大学 |
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研究代表者 |
社本 英二 神戸大学, 工学部, 助教授 (20216146)
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| 研究分担者 |
山内 朗 東レエンジニアリング(株), エレクトロニクス事業本部, 主任技師［研究職］
樋野 励 神戸大学, 工学部, 助手 (80273762)
森脇 俊道 神戸大学, 工学部, 教授 (00031104)
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| キーワード | 超精密アライメント装置 / 半導体製造装置 / 圧電素子 / XYθテーブル / 位置決め装置 / 真空 |
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| 研究概要 |
超精密アライメント技術は、ステッパーなどの半導体製造装置、検査装置等に多用され、現在のハイテク産業を支える基盤技術として認識されている。現在、これらの中核となる製造技術は、光を利用したフォトリソグラフィであり、光の波長による描画分解能の限界が問題となっている。そこでこの限界を超えるために、超高真空内でのウェハーとウェハーの接合による半導体回路の3次元構造化や、電子ビーム、イオンビーム露光の採用が検討されており、これらの実現には真空環境下でのナノメートルオーダの超精密アライメント技術の開発が不可欠となっている。本研究では、次世代半導体製造に必要となる基盤技術として、超高真空中での超精密アライメントに有利な小型超精密XYθテーブルを開発することを目的とし、本年度は主として以下の2項目について試作開発研究を行った。
(1)Walking Drive XYθテーブルの試作開発
圧電素子、材料などの消耗品を使用し、小型のXYθアライメントテーブルを試作開発した。なお、予備実験の結果、接着剤がオープンループ特性を悪化することを確認しているため、圧電素子の接合部に接着剤を使用しないように設計を行った。
(2)オープンループ駆動ソフトウェアの開発
パーソナルコンピュータ、IOボード等を利用し、試作した小型テーブルをオープンループで駆動するソフトウェアを開発した。また、非接触式微小変位計を利用し、開発したテーブルとソフトウェアを使用して実際に各駆動部の動作実験を行って、基礎的な運動特性について確認を行った。
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