| 研究概要 |
1.nano-CMMのプロトタイプの改良
前年度の詳細設計に基づいて,低熱膨張材料を用いてnano-CMMの新しいプロトタイプを製作した.主な改良点は以下の部分である.
(1)全体の部材として低熱膨張材料(低熱膨張鋳鉄)を用いた.
(2)スケール部分には,低熱膨張ガラスを用いた分解能10nmのスケールを使用した.
(3)駆動系として,フリクションドライブ機構を用いた.
2.nano-CMMの移動ステージの評価
製作され移動ステージに対して,以下の試験を行いその性能を評価した.
(1)スケールとしてナノメートルスケールシステム,プローブとして三次元プローブシステムを使ったシステムを評価した.
(2)各軸のヨーイング,ピッチング,ローリングなどの回転の影響を調べた.結果として,真直度40nm,繰り返し精度10nmを達成できた.
(3)オプティカルフラットおよび非球面レンズの測定により,形状測定機としての能力を評価した.
3.nano-CMMの温度ドリフトの評価
温度ドリフトの評価を行った.
(1)通常の恒温室の条件で温度ドリフトを評価し,1度あたり200nmの温度ドリフトがあることが分かった.
(2)温度をより安定させるケースを適応することで,0.1度あたり20nmの温度ドリフトに押さえることができた.
以上の実験より,提案したnano-CMMの方式が,一般的な恒温室+特別なケースという環境で,十分実用化できる実現可能性が証明できた.
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