| 研究概要 |
1.新しい基板面外駆動マイクロアクチュエータの試作(担当:秦,市原,下河辺)
今までの薄膜金属ガラスの微細加工,微細成形技術を基に,新しい基板面外駆動マイクロアクチュエータを試作した.測定した性能を以下に示す.(括弧内は,仕様値)
(1)ストローク:0.85μm(1μm)
(2)駆動対象物:質量0.89mg,直径1mmのガラスダミーレンズ(質量1.5mg,直径1mmガラスレンズ)
(3)傾き誤差:0.02°(0.80以下)
(4)応答周波数:3.54kHz,(1kHz以上)
以上より,ストロークが若干足りないものの,ほぼ仕様を満たすマイクロアクチュエータを実現することができた.
2.基板面外駆動マイクロアクチュエータの耐久性試験(担当:秦,市原,下河辺)
試作した基板面外マイクロアクチュエータを,一定高さより落下させ衝撃力を加えて耐久性を調査した.その結果,いずれの姿勢でも800Gの加速度を加えても破壊せず,十分な耐衝撃性を有していることが明らかとなった.
3.基板面外駆動マイクロアクチュエータのMO用光ピックアップへの応用(担当:市原)
試作した基板面外駆動マイクロアクチュエータを,次世代の高記録密度MOの光ピックアップへ応用する際の技術課題について,有限要素法によるシミュレーションを行った.検討の結果,応答性,駆動精度などには問題なく,適用が可能であることが明らかとなった.現在,製品化するための生産性,工程の検討を行っている.
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