電子デバイス動作下における局所結晶歪みの高平行X線マイクロビームその場測定の研究

2001 年度 実績報告書

• 研究課題/領域番号: 13555096
• 研究機関: 姫路工業大学
• 研究代表者: 松井 純爾 姫路工業大学, 理学部, 教授 (10295751)
• 研究分担者: 木村 滋 日本電気株式会社シリコンシステム研, 研究主任 ; 津坂 佳幸 姫路工業大学, 理学部, 助手 (20270473) ; 篭島 靖 姫路工業大学, 理学部, 助教授 (10224370)
• キーワード: 放射光 / 局所歪み / 電子デバイス / X線 / マイクロビーム / その場測定

研究概要

1.X線高平行マイクロビーム形成装置のための集光光学系の設計
被検査試料上で、垂直・水平両方向に高平行に集光するためのX線光学系を設計した。各方向に極端非対称ブラッグ反射を採用し、かつ各結晶回転軸をできるだけ至近距離に置くためのゴニオメータ等をあらたに設計し、これらの光学系による集光ビームの光学的特性を見積り、ほぼ所期目標の発散角、ビームサイズが得られることが判明した。
2.X線回折測定系の準備
前記垂直・水平両方向集光用光学素子を回転制御する電気系、回折強度をモニタする測定系を整備した。

研究成果

• [文献書誌] J.Matsui, Y.Tsusaka, K.Kagoshima, et al.: "Measurement of Minute Strain in Semiconductor Materials and Electronic Devices by Using a Highly Parallel X-ray Microbeam"Proc. Third Int'l Conf. on Synchro from Radiation in material science. 76 (2001)
• [文献書誌] J.Matsui, Y.Tsusaka, K.Kagoshima, et al.: "Local Strain Measurement by Synchrotron X-ray Microbeam"Proc. Cryst. Defects and Contamination (DECON2001). 25 (2001)
• [文献書誌] S.Takeda, K.Yokoyama, et al.: "Rocking Curve Measurement J Infrared LEDs Using Highly parallel X-ray microbeam"Nuclear Instruments and Methods in Phys. Res.. A467-468. 974-977 (2001)
• [文献書誌] Y.Tsusaka, K.Yokoyama, et al.: "Hyogo Beamline at SPring-8 : Multiple Station Beamline with TROIKA concept"Nuclear Instrumets and Methods in Phys. Res.. A467-468. 670-673 (2001)
• [文献書誌] K.Yokoyama, S.Takeda, et al.: "Study of Local Strain Distribution in Semiconductor Devices Using High-Resolution X-ray Microbeam Diffractometry"Nuclear Instrumets and Methods in Phys. Res.. A467-468. 1205-1208 (2001)