| 研究分担者 |
庄子 哲雄 東北大学, 大学院・工学研究科, 教授 (80091700)
坂 真澄 東北大学, 大学院・工学研究科, 教授 (20158918)
笹川 和彦 弘前大学, 理工学部, 助教授 (50250676)
小倉 幸夫 日立エンジニアリング(株), 検査部門, 技師長(研究職)
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| 研究概要 |
本研究はレーザの波長が短かく空間分解能が非常に高いという特徴を利用して,材料の電磁物性値分布により変化するマイクロ波の応答をレーザで局所的に高分解能で検出するというマイクロ波-レーザ計測なる新技術の開発を狙ったものである。さらにマイクロ波-レーザ計測技術による,接触媒質を必要としないシリコンウェーハの局所的導電率の高感度な非接触計測の実現を目指している。本年度は以下の実績を得た。
1.シリコンウェーハの導電率の非接触計測
シリコンウェーハの局所的導電率の非接触計測の基本として,マイクロ波によるシリコンウェーハの導電率の非接触計測手法を開発した。現有の設備であるネットワークアナライザを信号源として利用し,開発された反射型高感度マイクロ波集束センサを用いて,導電率の異なるシリコンウェーハ試験片にマイクロ波を照射し,反射波の振幅および位相を測定した。さらにマイクロ波の応答とシリコンウェーハの導電率の関係を把握し,シリコンウェーハの導電率の非接触評価手法を開発した。
2.マイクロ波-レーザ計測システムの構築
ネットワークアナライザを信号源として利用し,高周波数の連続マイクロ波を発生させ,ホーンアンテナを介してシリコンウェーハに向けて照射するマイクロ波印加システムを構築した。さらにウェーハを透過あるいは反射したマイクロ波ビームの中心部の電界を,設置された電気光学材料に印加し,電気光学効果によって入力されたレーザ光波に生じる位相変化を検出するレーザ検出システムの構築を実施中である。
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