| 研究課題/領域番号 |
13558060
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| 研究機関 | 東京工業大学 |
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研究代表者 |
鈴木 正昭 東京工業大学, 大学院・理工学研究科, 教授 (70114874)
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| 研究分担者 |
森 伸介 東京工業大学, 大学院・理工学研究科, 助手 (80345389)
赤塚 洋 東京工業大学, 原子炉工学研究所, 助教授 (50231808)
関口 秀俊 東京工業大学, 大学院・理工学研究科, 助教授 (50226643)
蓼沼 克嘉 (株)化研, 代表取締役(研究職)
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| キーワード | 除染 / プラズマ除染 / 大気圧パルス放電 / フッ素過反応 / 除線の安全性 |
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| 研究概要 |
平成14年度は、新規に考案した大気圧非平衡プラズマ発生装置を用いて、昨年度得られた除染・除去の基本的な化学反応機構に関する知見を基に実権・解析を行った結果、以下の成果が得られた。
(1)実用的プラズマ生成装置として、入力任意波形により出力パルス波形を変化できる特殊高電圧パルス電源を用い、大気圧非平衡プラズマを生成する装置を設計・製作した。
(2)様々な形状の入力波形条件によって発生するプラズマの諸特性(電子密度、ラジカル濃度など)を測定し、除染に最適な条件を明らかにした。これによって、我々が提案する大気圧プラズマ除染技術の実用性がおおむね明らかになった。
(3)本方法の基本的な除染機構について考察し、CF_4/O_2プラズマ中の高密度のフッ素ラジカルによる、フッ化物の生成反応であることを解明した
(4)安全性解析:プラズマプロセスは局所的には高温プロセスであり、蒸発した目的物質は微粒子として存在する。格子ボルツマン法を用いて蒸発微粒子を評価する方法を検討し、蒸発微粒子の特性を評価できることを検証し、環境への漏洩量を評価することで、このプロセスの安全性を評価する方法を提案した。
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