| 研究概要 |
・オフラインでSEMとSPMの特徴を比較検討し、理想的に2つの装置が組合すことができた場合の相補的メリットを十分に議論した(高分解能表面観察・分祈には、両者の特徴を組み合わせることは必須である)。また、今後重要になる各種プローブ部分の容易観察必要性も検討した。
・具体的装置構成としては、走査電子顕微鏡と走査プローブ顕微鏡を組み合わせる場合、Variable Pressure(VP)SEMとAFM(第一段階として)のベアが適していることが多くの実験結果から導かれた。過去の数少ない類似研究は、高真空領域のみを想定したものであるが、申請者は上記組み合わせ(可変圧力状態でのSEM-AFM)が、より多くの分野において活用できる装置の開発につながると確信している。AFM用の検出器としては、自己検知形、X,Y,Z微動ステージとしては、十分に防磁したボイスコイル形が適している。また、多くの研究分野において、SPM観察部位の特定が難しいことが研究の支障になっている場合が予想以上に多いことも判明した。
・SEM本体による3D形状測定装置を自作し、高速・広領城3D観察(ただしZ方向に対しては低分解能)とAFMの低速・狭領域・高分解能3D観察の相補的利用の可能性を実験し研究の方向性の正しさを確認した。
・SEM+3D形状測定装置の性能向上を試みた場合、SEM+AFM装置での汎用レベルにおける性能と比較できる所まで高さ測定精度が向上できる可能性を示唆できた。加えて、SEM+AFM装置の使いにくさを考えたとき、SEM単独での高さ方向測定装置としての必要性が再認臓されると考え得る。
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