研究課題/領域番号 |
13650040
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研究機関 | 金沢大学 |
研究代表者 |
桑村 有司 金沢大学, 工学部, 講師 (10195612)
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研究分担者 |
山田 実 金沢大学, 工学部, 教授 (80110609)
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キーワード | 光変調器 / 光演算素子 / 空間光変調器 / スマートピクセル / 光コンピューター / 電子空乏化 / フランツケルデッシュ効果 / 半導体光デバイス |
研究概要 |
本研究は、並列光コンピュータ用として利用できる半導体空間光変調パネルの開発を行なうものである。電圧または制御光を印加して変調パネルを通過した光の強度が可変・制御できる。初年度は、変調パネル中の1画素の高速化と光駆動による抗変調動作の確認を中心に行った。 1.電圧駆動方式の光変調素子の高性能化(主に高速化) 光強度変調を行なう変調画素のサイズを小型化して動作速度を高速化する目的で開発を行なった。これまで埋込再成長時に異常結晶成長が発生し素子試作の上で問題となっていたので、異常成長を極力抑える再成長条件を実験的に把握し、かつ小型化した画素の作成プロセス手順の最適化を行なった。1画素のサイズを60μm角程度まで小型化した画素を試作した。動作速度は従来の1MHzから100MHzまで高速化することができた。光学特性としては、波長895nmにおいて6Vの電圧変化で約10dBの消光比、挿入損は約5dBであった。 2.光駆動方式の光変調素子の開発 ヘテロペイポーラフォトトランジスタ素子(HPT)の試作を行い、光電流増幅率が約60倍のHPTを作製することができた。光駆動による光変調動作の確認を行なう予備実験として、電圧駆動方式の光変調素子とHPTとで並列および直列回路を構成した。光変調素子を通過したバイアス光は、HPTに入力した制御光により可変できることを実証できた。並列回路構成では3mWの制御光によりバイアス光は2倍に増加、直列回路構成では0.6mWの制御光によりバイアス光が1/4倍に減少した。
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