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2004 年度 研究成果報告書概要

集積回路の動作測定・故障診断のための超高感度・超高速電界計測プローブの研究

研究課題

研究課題/領域番号 13650045
研究種目

基盤研究(C)

配分区分補助金
応募区分一般
研究分野 応用光学・量子光工学
研究機関成蹊大学

研究代表者

滝沢 國治  成蹊大学, 理工学部, 教授 (80327973)

研究期間 (年度) 2001 – 2004
キーワード電気光学結晶 / 光変調器 / 光共振器 / 電気光学係数 / 圧電定数 / ニオブ酸リチウム結晶 / シレナイト化合物 / 電界計測
研究概要

超高速・超高感度電界計測プローブの研究を行い、以下の成果を得た。
1.種々の電気光学(EO)結晶において印加電界と光伝搬方向との関係を詳細に検討し、電界計測プローブに最も相応しい結晶構造を明らかにした。
2.新規の縦型光変調素子を考案・試作し、従来の縦型光変調素子の駆動電圧の50%以下で駆動できることを明らかにした。
3.EO結晶の両面に誘電体多層膜ミラーを蒸着したFabry-Perot型光共振器、1/4波長板および偏光ビームスプリッタからなる反射型光共振デバイスを考案し、従来の縦型光変調素子の1/100以下の駆動電圧で動作することを解析により明らかにした。
4.Fabry-Perot型光共振器に相応しい13種のEO結晶を明らかにした。特に、Z軸θ度カットLiNbO_3結晶およびBi_<12>GeO_<20>結晶が有望であることを示した。
5.Bi_<12>GeO_<20>結晶を用いたFabry-Perot型光共振器を試作し、従来の縦型光変調素子の1/10の電圧で変調度95%を達成できることを実証した。
6.EO結晶では電気光学効果と逆圧電効果が位相変化に大きな影響を与えることを明らかにした。
7.LiNbO_3結晶の電気光学係数と圧電定数の相対的符号関係を明らかにした。
8.電気光学結晶の電界によって誘起される位相変化を高精度かつ低電圧で測定できる2つの計測法を考案し、その有用性を実験により明らかにした。
このように、本研究は、最終目標の電界計測プローブの開発までには至らなかったものの、高感度電界計測プローブの可能性を明らかにするとともに、多大な研究成果を挙げることができた。これらの研究成果を踏まえて、高感度Fabry-Perot型光共振器の試作を継続し、超高感度電界計測プローブの開発まで漕ぎ付けたい。

  • 研究成果

    (16件)

すべて 2006 2004 2003 その他

すべて 雑誌論文 (16件)

  • [雑誌論文] High Accuracy and high sensitivity measurements of the electro-optic effect in undoped and MgO doped LiNbO_3 crystals2006

    • 著者名/発表者名
      Kuniharu Takizawa, Yuji Yokota
    • 雑誌名

      Opt. Rev. 未定

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
  • [雑誌論文] ポッケルス効果と逆圧電効果に基づく縦型光変調素子の解析と実証実験2004

    • 著者名/発表者名
      菊池 宏, 小林慎治, 滝沢國治
    • 雑誌名

      信学論(C) Vol.J87-C, No.2

      ページ: 276-277

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
  • [雑誌論文] 電気光学効果と逆圧電効果を利用した縦型光変調素子2004

    • 著者名/発表者名
      滝沢國治, 小林慎治, 菊池 宏
    • 雑誌名

      成蹊大学工学研究報告 Vol.41, No.1

      ページ: 21-27

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
  • [雑誌論文] 等方性および1軸性電気光学結晶の電気光学効果と逆圧電効果の解析2004

    • 著者名/発表者名
      滝沢國治
    • 雑誌名

      成蹊大学工学研究報告 Vol.41, No.2

      ページ: 21-35

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
  • [雑誌論文] Experimental and theoretical investigations of longitudinal electro-optic modulators utilizing the Pockels and inverse-piezoelectric effects2004

    • 著者名/発表者名
      Hiroshi Kikuchi, Shinji Kobayashi, Kuniharu Takizawa
    • 雑誌名

      IEICE Vol.J87-C, No.2

      ページ: 276-277

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
  • [雑誌論文] Longitudinal light modulators based on the electrooptic and inverse-piezoelectric effects2004

    • 著者名/発表者名
      Kuniharu Takizawa, Shinji Kobaynshi, Hiroshi Kikuchi
    • 雑誌名

      Journal of the Faculty of Engineering, Seikei University Vol.41, No.1

      ページ: 21-27

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
  • [雑誌論文] Analysis of electro-optic and inverse-piezoelectric effects in isotropic and uniaxial electro-optic crystals2004

    • 著者名/発表者名
      Kuniharu Takizawa
    • 雑誌名

      Journal of the Faculty of Engineering, Seikei University Vol.41, No.2

      ページ: 21-35

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
  • [雑誌論文] Analysis of electro-optic crystal-based Fabry-Perot etalons for high-speed spatial light modulators2003

    • 著者名/発表者名
      Kuniharu Takizawa
    • 雑誌名

      Appl. Opt. Vol.42, No.6

      ページ: 1052-1067

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
  • [雑誌論文] 高速空間光変調素子用電気光学ファブリ・ペロー共振器の解析2003

    • 著者名/発表者名
      滝沢國治
    • 雑誌名

      成蹊大学工学研究報告 Vol.40, No.2

      ページ: 57-72

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
  • [雑誌論文] 超高精細画像形成・表示システム2003

    • 著者名/発表者名
      滝沢國治
    • 雑誌名

      成蹊大学工学研究報告 Vol.40, No.2

      ページ: 73-78

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
  • [雑誌論文] ポッケルス効果と逆圧電効果を利用した縦型光変調素子の設計2003

    • 著者名/発表者名
      小林慎治, 菊池 宏, 滝沢國治
    • 雑誌名

      信学論(C) Vol.J86-C, No.1

      ページ: 83-85

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
  • [雑誌論文] Analysis of electro-optic crystal-based Fabry-Perot etalons for high-speed spatial light modulators2003

    • 著者名/発表者名
      Kuniharu Takizawa
    • 雑誌名

      Appl.Opt. Vol.42, No.6

      ページ: 1052-1067

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
  • [雑誌論文] Analysis of electro-optic crystal-based Fabry-Perot etalons for high-speed spatial light modulators2003

    • 著者名/発表者名
      Kuniharu Takizawa
    • 雑誌名

      Journal of the Faculty of Engineering, Seikei University Vol.40, No.2

      ページ: 57-72

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
  • [雑誌論文] Laser-beam writing system, Ti-sapphire and Michelson interferometer for recording and display of ultra high-definition images2003

    • 著者名/発表者名
      Kuniharu Takizawa
    • 雑誌名

      Journal of the Faculty of Engineering, Seikei University Vol.40, No.2

      ページ: 73-78

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
  • [雑誌論文] Design of longitudinal electro-optic modulators based on the Pockels and inverse-piezoelectric effects2003

    • 著者名/発表者名
      Shinji Kobayashi, Hiroshi Kikuchi, Kuniharu Takizawa
    • 雑誌名

      IEICE Vol.J86-C, No.1

      ページ: 83-85

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
  • [雑誌論文] High Accuracy and high sensitivity measurements of the electro-optic effect in undoped and MgO doped LiNbO_3 crystals

    • 著者名/発表者名
      Kuniharu Takizawa, Yuji Yokota
    • 雑誌名

      Opt.Rev. (To be published)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より

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公開日: 2007-12-13  

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