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2001 年度 実績報告書

光ファイバのマイクロ旋盤加工に関する研究

研究課題

研究課題/領域番号 13650291
研究機関岐阜工業高等専門学校

研究代表者

稲葉 成基  岐阜工業高等専門学校, 電気情報工学科, 教授 (30110183)

研究分担者 羽根 一博  東北大学, 大学院・工学研究科, 教授 (50164893)
キーワード光ファイバ / 微細加工 / 旋盤 / エッチング / プラズマ加工
研究概要

光ファイバを念頭に置き、直径500μm以下のガラス棒に対して、金属材料用の旋盤に類似したマイクロ旋盤加工法を確立する。本年度は四年計画の初年度であり、装置の設計製作を中心にして以下のような研究を実施した。
1.CF4のプラズマ生成、ガラス材料の回転、およびマスクの移動が可能な装置を製作した。
2.プラズマ中において資料を回転させてエッチング加工を行った。マスクを使用してエッチング場所を限定し、これを移動させて旋盤の突ききりに類似した加工を実施した。
3.マスクパターン、試料の回転数変えて実験を行い、最終的に3rpmにて外径125μmの光ファイバを45μmまで細径加工することができた。
4.ファイバの電極からの距離によるエッチングレートの違いを利用して、ウェットエッチングによる前処理後、イオンシースの中で先端が斜めに下を向くようにファイバを傾けた状態で回転させながらエッチングを行った。ファイバの先端の先鋭角度は15度、曲率半径が200nm程度までテーパー加工できることが明らかになった。
5.細径加工したファイバの応用例として、ブラッグ格子を利用した波長可変フィルタを製作し、細径加工した部分に製作された格子に引っ張り力を加えたり、周囲媒質の屈折率を加えることにより反射波長がシフトすることを確認した。
6.電極を回転させる加工法に関する研究を行うために、、新しい装置の設計を行った。

  • 研究成果

    (1件)

すべて その他

すべて 文献書誌 (1件)

  • [文献書誌] H.Kumazaki: "Tunable Wavelength Filter Using a Bragg Grating Fiber Thinned by Plasma Etching"IEEE Photonics Technology Letters. 13・11. 1206-1208 (2001)

URL: 

公開日: 2003-04-03   更新日: 2016-04-21  

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