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本研究における初年度(平成13年度)の到達目標は(1)反応定数および電子衝突断面積の最新情報調査、(2)解析モデルの構築およびプログラミング、(3)素過程と放電特性の把握であった。
(1)に関しては、文献検索ライブラリやインターネットを用いて調査を行った。希ガスに加えて塩素、フッ素などの電子衝突断面積、中性粒子間衝突の反応定数および光学的遷移過程のデータを多量に入手することができ、それらは独自にデータベースしている。なお、本研究では実験値との比較により、厳選したデータを使用することにした。
(2)に関しては、まずは比較対象用の流体モデルプログラムを作成した。本プログラムにおいては時空間的構造解析が容易であるため、グローバルモデルの妥当性を検討することが可能である。1次元モデルによる解析結果は良好であり、学会発表も行なっている。評価が出来次第、グローバルモデルのアルゴリズムおよびプログラミングを行なう。
(3)に関しては、エキシマガスを調べる上で重要なXe/Ar/Ne、Xe/Kr/Ne、Xe/Ar/HeおよびXe/Kr/Heの三種混合希ガスにおける各種特性を科学研究費補助金により購入したパーソナルコンピュータを用いて計算し、混合比およびガス圧に対する放電始動電圧および紫外線発光効率特性を検討した。これらの研究結果は、国内学会(2001年電気学会基礎・材料・共通部門大会)および国際学会(第8回国際ディスプレイワークショップ)にて発表を行っている。
以上のことから、本研究では当補助金を有効に活用し、確実に到達目標を達成できたと思われる。
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