STJ検出器による高効率極端紫外線望遠鏡のための多層膜光学素子の開発

2001 年度 実績報告書

• 研究課題/領域番号: 13874056
• 研究種目: 萌芽的研究
• 研究機関: 理化学研究所
• 研究代表者: 滝澤 慶之 理化学研究所, 情報基盤研究部・イメージ情報技術開発室, 研究協力員(研究職) (70312246)
• 研究分担者: 佐藤 広海 理化学研究所, 情報基盤研究部・イメージ情報技術開発室, 研究員 (20300874) ; 大谷 知行 理化学研究所, 川瀬独立主幹研究ユニット, ユニット研究員 (50281663) ; 清水 裕彦 理化学研究所, 情報基盤研究部・イメージ情報技術開発室, 室長(副主任研究員) (50249900) ; 池田 時浩 理化学研究所, 情報基盤研究部・イメージ情報技術開発室, 研究協力員(研究職) (80301745) ; 奥 隆之 理化学研究所, 情報基盤研究部・イメージ情報技術開発室, 研究協力員(研究職) (10301748)
• キーワード: 多層膜反射鏡 / 極端紫外線 / 超伝導トンネル接合素子 / 1光子分光

研究概要

平成13年度は、(1)多層膜成膜装置の成膜プログラムの開発、(2)EUV光源システムの構築、(3)光学系の設計を行った。
平成12年度末に理化学研究所内に導入された多層膜成膜装置を用いた成膜シーケンスのソフト開発を行った。このプログラムにより、20ペアのNi/Ti多層膜の試作に成功している。
また、X線での反射率を測定し、作製素子の基本性能を調べる目的で、平成12年度末に理化学研究所内に導入されたX線多層膜構造解析装置の制御ソフトの開発も完了し、試作した多層膜の評価を開始している。これと平行して、EUV光をモノクロメータを介して単色光を素子に入射するシステムの構築も行い上記のX線多層膜構造解析装置の測定ステージ部に光を導入できるシステムを構築し、EUVでの反射率評価を行える体制が整いつつある。
光学系の設計に関しては、理研が保有している業界リーダーの光学シミュレーションソフトのCodeVとASAPをもちい収差補正、迷光評価等の光学系の最適化を行う準備が整い、初期的な結果を用いて2件の国内特許(内1件は、国際特許)を申請・取得している。
次年度は、目的の物質組み合わせであるMoとMg2Siの多層膜の作製評価を行い、曲面に精度良く成膜する技術の探索を行う。また、当研究室で開発している極端紫外線用超伝導トンネル接合素子検出器と反射鏡を組み合わせて試験的な小型望遠鏡の設計を行う。可能であれば、実際の製作も行いたい。

研究成果

• [文献書誌] Y.Takizawa, C.Otani, H.Sato他9名: "Development of superconducting tunnel junctions for EUV Detectors"Surface Review and Letters. (出版中). (2002)
• [文献書誌] C.Otani, Y.Takizawa, H.Sato他9名: "Development of Superconducting Tunnel Junctions as an Energy-Dispersive Detector for UV and Visible Photons"Physica C : Superconductivity. (出版中). (2002)
• [文献書誌] 清水裕彦: "超伝導トンネル接合素子の開発と応用"日本物理学会誌. 56. 675-683 (2001)
• [文献書誌] T.Oku, T.Ikeda, C.Otani他11名: "Development of a superconducting analog-to-digital converter as a readout for high-resolution X-ray detectorsbased on a"IEICE Transactions on Fundamentals of Electronics, Communications. (出版中). (2002)