|
本年度は、これまでルザー衝撃負荷、イオンビーム衝撃負荷、磁場パルス負荷装置の原理、衝撃パルス特性・応用展開性について総括し、特にマイクロ加工を対象とした場合の各負荷様式におけるfeasibilityを検討した。その検討を踏まえ、以下の2点について解析/実験による考察、設計を行った。
(i)マイクロフライヤー/ミニフライヤー特性
・Cu膜を利用した衝撃セルを開発し、直径数μm〜数mm、厚さ1μm〜100mmまでのフライヤー加速に成功した。ただし、直径/厚さ比が1に近づく場合、測定速摩(実時間での精度)には課題があり、次年度で検討をさらに加える。
(ii)マイクロフライヤーの加工性
・フライヤーは自分の内部衝撃伝播により形状を変化させることも考えられ、Autodyn2Dによるミニ/マイクロフライヤー形状の加速中変化を解析した。
・衝撃セルからターゲットまでの距離に応じて、ターゲットに貫入する形状が変化するため、加工性評価実験では、実験セルの設定がきわめて重要となることがわかった。
|
