| 研究概要 |
平成14年度においては,ナノデバイス製造用超精密・微細加工システムを構築するための第一段階として,2自由度(XY)超精密・高速位置決めテーブルシステムの開発を目的とした以下のような要素研究を実施した.
(1)研究代表者らが提案したハイブリッドリニア駆動機構を採用した完全非接触位置決めテーブルシステムを構築し,その基本特性を明らかにした.具体的には,1nmの位置決め分解能および毎秒250mmの高速駆動時におけるテーブルの追従誤差1.89nmを実現した.
(2)1自由度ハイブリッドリニア駆動機構の概念を発展させた2自由度(XY)ハイブリッド駆動機構の概念設計及び詳細設計を行った.
(3)2自由度非接触案内機構の構成要素である「空気静圧パッド」の試作を行い,その基本特性を明らかにした.
(4)2自由度(XY)ハイブリッド駆動機構及び空気静圧パッドを組み込んだ完全非接触テーブルシステム構造の概念設計及び詳細設計を行った.
(5)外乱オブザーバによる切削抵抗のインプロセスモニタリングシステムを構築し,実際の切削加工実験により,その有用性を明らかにした.
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