| 研究概要 |
研究の目的は,マイクロアクチュエータによる可変機能を組み込んだ光通信用デバイス(光スイッチ,減衰器,ブラッググレーティングフィルタ,フォトニック結晶フィルタ,)の研究を行うことである.フォトニック結晶では禁制帯のすべての波長を伝播させないので、この領域で強い反射を生じる。欠陥を導入することで導波路を実現できるが、導波路中に格子を再生することで、光波の伝播を制御できると考えられる。MEMSアクチュエータとフォトニック結晶を組み合わせた構造として,カンチレバーにより欠陥を導入する方法と静電アクチュエータによりスラブ導波路を上下させる方法を設計,製作した.これらのデバイスの製作に欠かせない犠牲層のドライエッチングを実現するため,フッ化水素の蒸気によるエッチング装置を製作し,エッチング特性を調べた.どちらの構造においても,試作を繰り返し,MEMSアクチュエータによる動作を確認できた.今後光学特性の測定を目指す.同じくサブ波長格子の共鳴効果を利用したフィルタの研究にも着手した.理論解析により,クラッドを持たない自立シリコン格子であっても共鳴による導波モードフィルタ効果が生じることを明らかにした.この構造を利用した波長可変フィルタを実現するため,設計を行った.またMEMSアクチュエータにより周期を可変にする仕組みを導入するため電子線描画と通常のフォトリソグラフィを組み合わせる設計を行い試作した.共鳴効果による反射を確認した.また,光減衰器も試作しでいるが,ミラーの傾きを変えるために新しいくし型アクチュエータを設計し試作した.また,外部共振器を用いた集積光学系による波長可変レーザを実現するため,ウエハの折り曲げとマイクロミラーを組み合わせた構造を設計試作した.
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