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2006 年度 実績報告書

マイクロ・ナノマシニングによる光通信用可変フォトニックデバイスの研究

研究課題

研究課題/領域番号 14102022
研究機関東北大学

研究代表者

羽根 一博  東北大学, 大学院工学研究科, 教授 (50164893)

研究分担者 佐々木 実  東北大学, 大学院工学研究科, 助教授 (70282100)
金森 義明  東北大学, 大学院工学研究科, 助手 (10333858)
キーワードマイクロマシニング / フォトニック結晶 / マイクロアクチュエータ / フィルタ / 光スイッチ
研究概要

本研究では,マイクロアクチュエータによる可変機能を組み込んだフォトニックデバイスを実現することを目標としている.具体的には,フォトニック結晶にマイクロアクチュエータを組み込んだ光スイッチやフィルタを研究する.フォトニック結晶として,スラブ型2次元フォトニック結晶を直列に3連に配置した機械式スイッチ構造を提案した.スラブ型フォトニック結晶の中央部に1から3列の格子欠陥導波路を導入した光導波路構造を提案した.中央のフォトニック結晶スラブ(可動PCスラブ)を移動させることにより,両側の固定フォトニック結晶スラブ(固定PCスラブ)間の光の導波を接続・切断できる.可動PCスラブの方式として,下方に移動する方式と,横方向に面内で平行移動する方式の2つについて理論的設計と試作を行った.下方移動には平行平板のマイクロアクチュエータを組み込んだ.光透過特性(スイッチ特性)を光通信帯域である1.5μm波長において測定した.可動PCスラブの下方への移動により,導波が遮断(23dB)されることを理論的に示した.可動PCスラブをさらに下方に移動させると,固定PCスラブ間の空隙を通って光が伝搬するため遮断特性が劣化することが示された.電子線描画によりいくつかのパラメータを変えたフォトニック結晶スイッチを製作した.それらを用いて光学測定を行った結果,透過光を変調できることを示した.これらの結果は理論計算によりよく説明できた.また,平行移動する可動PCスラブにおいてはアクチュエータとして,くし型アクチュエータを設計し,スイッチを試作した.スイッチ動作の基本特性を確認できた.

  • 研究成果

    (8件)

すべて 2007 2006

すべて 雑誌論文 (6件) 図書 (1件) 産業財産権 (1件)

  • [雑誌論文] Tunable vertical comb for driving micromirror realized by bending drive wafer2007

    • 著者名/発表者名
      M.Sasaki
    • 雑誌名

      IEICE Transactions on Electronics E90-C・1

      ページ: 147-148

  • [雑誌論文] Photonic crystal waveguide switches with movable slabs2007

    • 著者名/発表者名
      K.Hane
    • 雑誌名

      IEICE Transactions on Electronics E90-C・1

      ページ: 51-58

  • [雑誌論文] Micromirror with two parallel rotation axes for external cavity diode laser2007

    • 著者名/発表者名
      M.Ishimori
    • 雑誌名

      IEICE Transactions on Electronics E90-C・1

      ページ: 72-77

  • [雑誌論文] Photonic crystal waveguide switch with a microelectromechanical actuator2006

    • 著者名/発表者名
      K.Umemori
    • 雑誌名

      Applied Physics Letters 89・2

      ページ: 021102-1-3

  • [雑誌論文] 分割した櫛歯電極型静電駆動アクチュエータ2006

    • 著者名/発表者名
      佐々木実
    • 雑誌名

      電気学会論文誌E 126・4

      ページ: 168-169

  • [雑誌論文] Large-rotation and low-voltage driving of micromirror realized by tense thin-film torsion bar2006

    • 著者名/発表者名
      M.Sasaki
    • 雑誌名

      IEEE Photonics Technology Letters 18・15

      ページ: 1573-1575

  • [図書] MEMS/NEMSの最先端技術と応用展開4.5フォトニック素子2007

    • 著者名/発表者名
      羽根一博
    • 総ページ数
      1500
    • 出版者
      フロンティア出版
  • [産業財産権] 光フィルター装置及びその製造方法2007

    • 発明者名
      金森義明, 羽根一博
    • 権利者名
      東北大学
    • 産業財産権番号
      特願2007-76748
    • 出願年月日
      2007-03-23

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公開日: 2008-05-08   更新日: 2016-04-21  

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