研究概要 |
プロトタイプ3DピクセルセンサーがSherwood Parkersによって製作され,現在東北大学に於てテスト中である.プロトタイプセンサーは長さが約3mm中1mmで,ピクセルのピッチは100μm,厚さは200μm.テストは主にJ-V特性,C-V特性の計測であり,プローブステーション,半導体パラメトリックアナライザー,LCRメーターが使われている. ピクセル読み出し回路はKEKの池田教授との共同研究で設計,検証され,集積回路のレイアウトは広島の会社に発注した.実際のチップはVDECによってローム社0.35μm技術を使って製作され今年(2003)1月に完成した.テスト用の回路がKEKと東北大学によって設計製作され,すべての基本的機能が検証された.
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