イオンビーム誘起CVD法による超微粒子の作製とその磁性

2002 年度 実績報告書

• 研究課題/領域番号: 14205049
• 研究機関: 豊田工業大学
• 研究代表者: 鈴木 孝雄 豊田工業大学, 大学院・工学研究科, 教授 (70005495)
• 研究分担者: ZHANG Zhengang 豊田工業大学, 大学院・工学研究科, ポストドクトラル研究員 (50343661) ; KANG Kyongha 豊田工業大学, 大学院・工学研究科, ポストドクトラル研究員 (80340355) ; LAUHOFF Georg 豊田工業大学, 大学院・工学研究科, 講師 (70308998) ; LIN Ko?Wei 豊田工業大学, 大学院・工学研究科, ポストドクトラル研究員 (20351158)
• キーワード: イオンビーム / イオンビーム誘起CVD法 / ナノ粒子 / ナノ・ドット / 強磁性ナノ・ドット / コバルト微粒子 / FePt高磁気異方性粒子

研究概要

本研究は、Dual型イオンビーム誘起CVD(Ion Beam Induced)という新しい方法を用いることにより、数原子(あるいはクラスター)から構成される超微粒子の作製を行い、それらの形状、あるいは配列を制御し、微粒子間の磁気的相互作用、各微粒子のもつ磁性、光一磁気光学効果を系統的かつ詳細に調べることを目的とするものである。
具体的には、大きな磁気異方性をもつCo, L1_0規則合金[Fe_<50>pt_<50>.CO_<50>pt_<50>]及びCo/Pt等の多層膜構造のナノ・ドットを対象としている。
本年度(平成14年度)は、次の事項について行った。
i)現有のイオンビーム加工装置をDual型イオンビーム装置にするため、設計及び装置改良
ii)微粒子作製時において基板加熱(最大600℃)を行うための装置改良
iii)Co微粒子作製及びその磁性及び構造の評価
i)及びii)については、現在装置改良が進行中である。またiii)については直径0.2μmまでのCo微粒子を制御よく作製でき、それらの磁性を磁気力計及びXMCD(X-ray Magnetic Circular Dichroisim)によって評価し、興味ある結果を得ることができた。この結果は、2003年3月に開催された国際磁気学会(Boston)で発表した。

研究成果

• [文献書誌] K.W.Lin, T.Suzuki, K.Kang, Z.Zhang: "Fabrication and Characterization of Cobalt Particles by Ion-Beam Induced Chemical Vapor Deposition (IBICVD)"Proceedings of Nanotech 2003. Vol.3. 17-20 (2003)
• [文献書誌] T.Suzuki, M.A.I.Nahid: "Magnetic Anisotropy of HCP (FeCoNi) 3Pt Ordered Alloy Thin Films"Proceedings of Intermag 2003(March/April,2003). (CD-ROM). (2003)
• [文献書誌] C.Papusoi, T.Suzuki: "Transverse Susceptibility in High Density Recording Media by Using A Torque Method"Proceedings of Intermag 2003(March/April,2003). (CD-ROM). (2003)
• [文献書誌] K.Kang, Z.Zhang, T.Suzuki: "High Perpendicular Magnetic Anisotropy of FePt-Ag Composite Film onto Amorphous Substrate"Proceedings of Intermag 2003(March/April,2003). (CD-ROM). (2003)
• [文献書誌] Z.Zhang, K.Kang, N.Omoto, T.Suzuki: "Giant Magnetoresistance Effect of L1_0Fe_<50>Pt_<50> Grains"Proceedings of Intermag 2003(March/April,2003). (CD-ROM). (2003)
• [文献書誌] K.W.Lin, K.Kang, Y.Kageyama, T.Suzuki: "Fabrication and Characterization of Cobalt Nanoparticles by IBICVD"Proceedings of Intermag 2003(March/April,2003). (CD-ROM). (2003)