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2004 年度 研究成果報告書概要

高周波重水素プラズマ中での真空紫外分光法を用いた分子素過程の解明と負イオン生成

研究課題

研究課題/領域番号 14208049
研究種目

基盤研究(A)

配分区分補助金
応募区分一般
研究分野 プラズマ理工学
研究機関山口大学

研究代表者

福政 修  山口大学, 工学部, 教授 (20026321)

研究分担者 内藤 裕志  山口大学, 工学部, 教授 (10126881)
崎山 智司  山口大学, 地域共同研究開発センター, 助教授 (60162327)
竹入 康彦  核融合科学研究所, 粒子加熱プラズマ研究系, 教授 (60179603)
研究期間 (年度) 2002 – 2004
キーワードNBI用負イオン源 / 体積生成 / 表面生成 / VUV放射スペクトル / H^- / D^-生成の同位体効果 / RF放電プラズマ / メッシュグリッド負バイアス / 磁気フィルター
研究概要

負イオン方式中性粒子ビーム入射加熱装置用の負イオン源開発を目標に、将来の長時間運転可能な負イオン源として期待されている高周波(RFならびにマイクロ波)放電プラズマを用いた重水素負イオン源の開発・D^-生成高効率化について検討してきた。研究成果の概要を以下にまとめる。
1.磁気フィルター法を用いたDC放電プラズマの制御に関しては、磁気ラィルター磁場強度に対応して、イオン源内の電子密度n_e、電子温度T_e(特に引出し領域)は大きく変化し、D'負イオン体積生成の最適化が十分可能であることが分かった。
2.イオン源内の負イオン密度はn_e、T_eに強く依存しており、引出し電極近傍においてT_eが低く(T_e<leV)、n_eの高いプラズマ生成・制御が重要であることを再確認した。
3.負イオン源プラズマへのアルゴン添加効果は、水素あるいは重水素ガス圧が低い場合(2 mTorr以下)には負イオン生成は増加する。しかし、ガス圧が高くなるとアルゴン添加によりn_eは増加しT_eはleV以下に維持されるにもかかわらず、負イオン生成は低下する。振動励起分子生成に関与する真空紫外(VUV)放射光の強度が低下するので、これが負イオン生成低下の原因と考えられる。
4.RF放電プラズマの制御には磁気フィルター法よりはグリッド負バイアス法が有効であることが判明した。しかも、引出し電極近傍での負イオン生成を最適化するプラズマ制御法としてもグリッド負バイアス法は優れている。
5.DC放電プラズマを対象にグリッドバイアス法による負イオン生成実験を行ったところ、条件によっては磁気フィルター制御で得られる値以上の負イオン電流が得られた。
6.引出し領域の負イオン軌道の数値解析を行い、負イオンの引出し電極への到達確率の空間依存性を検討した。イオン源内において引き出し電極から高々2cm程度以内で生成される負イオンのみが引出し電流に寄与することが判明した。

  • 研究成果

    (47件)

すべて 2006 2005 2004 2003 2002

すべて 雑誌論文 (41件) 図書 (6件)

  • [雑誌論文] Electron Temperature Control in RF Plasmas with Mesh Grid Bias and its Application to Hydrogen Negative Ion Production2006

    • 著者名/発表者名
      Y.Nakao
    • 雑誌名

      Proceedings of the 6th International Conference on Reactive Plasmas and 23rd Symposium on Plasma Processing

      ページ: 185-186

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
  • [雑誌論文] Volume Production of D^- Negative Ions in Low-Pressure D_2 Plasmas - Negative Ion Densties versus Plasma Parameters2005

    • 著者名/発表者名
      O.Fukumasa
    • 雑誌名

      4th IAEA Technical Meeting on "Negative Ion Based Neutral Beam Injectors"

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
  • [雑誌論文] Modeling of Negative Iion Transport in Cesium-Seeded Volume Negative Ions Souces2005

    • 著者名/発表者名
      O.Fukumasa
    • 雑誌名

      4th IAEA Technical Meeting on "Negative Ion Based Neutral Beam Injectors"

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
  • [雑誌論文] Study of Argon Additive in a Beam Injection Type Negative Ion Source Usin VUV Emission Spectroscopy2005

    • 著者名/発表者名
      N.Nakada
    • 雑誌名

      Thin Solid Films (in press)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
  • [雑誌論文] D^- Density Distribution and Its Dependence on Plasma Parameters in Volume Negative Ion Sources2005

    • 著者名/発表者名
      S.Mori
    • 雑誌名

      Thin Solid Films (in press)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
  • [雑誌論文] Modeling of negative ion transport in caesium-seeded volume negative ions sources2005

    • 著者名/発表者名
      O.Fukumasa
    • 雑誌名

      Nuclear Fusion 45(in press)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
  • [雑誌論文] Relationship between H^-/D^- Production and Plasma Parameter Control with Magnetic Filter in Volume Negative Ion Sources2005

    • 著者名/発表者名
      S.Mori
    • 雑誌名

      Novel Materials Processing by Advanced Electromagnetic Energy Sources MAPEES' 04

      ページ: 55-58

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
  • [雑誌論文] Electron Temperature Control in RF Plasmas with Mesh Grid Bias and its Application to Hydrogen Negative Ion Production2005

    • 著者名/発表者名
      Y.Nakao
    • 雑誌名

      Proceedings of the 6th International Conference on Reactive Plasm as and 23rd Symposium on Plasma Processing

      ページ: 185-186

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
  • [雑誌論文] Volume Production of D^- Negative Ions in Low-Pressure D_2 Plasmas -Negative Ion Densities versus Plasma Parameters2005

    • 著者名/発表者名
      O.Fukumasa
    • 雑誌名

      4th IAEA Technical Meeting on "Negative Ion Based Neutral Beam Injectors"

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
  • [雑誌論文] Modeling of Negative lion Transport in Cesium-Seeded Volume Negative Ions Sources2005

    • 著者名/発表者名
      O.Fukumasa
    • 雑誌名

      4th IAEA Technical Meeting on "Negative Ion Based Neutral Beam Injectors"

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
  • [雑誌論文] Study of Argon Additive in a Beam Injection Type Negative Ion Source Using VUV Emission Spectroscopy2005

    • 著者名/発表者名
      N.Nakada
    • 雑誌名

      Thin Solid Films (in press)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
  • [雑誌論文] Modeling of Negative lion Transport in Caesium-Seeded Volume Negative Ions Sources2005

    • 著者名/発表者名
      O.Fukumasa
    • 雑誌名

      Nuclear Fusion 45(in press)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
  • [雑誌論文] Relationship between H^-/D^- Production and Plasma Parameter Control with Magnetic Filter in Volume Negative Ion Sources2005

    • 著者名/発表者名
      S.Mori
    • 雑誌名

      Novel Materials Processing by Advanced Electromagnetic Energy Sources MAPEES'04

      ページ: 55-58

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
  • [雑誌論文] Simulation of Photo-detached Electrons in Negative Ion Plasmas2004

    • 著者名/発表者名
      H.Naitou
    • 雑誌名

      Plasma Physics and Controlled Fusion 46

      ページ: 1217-1230

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
  • [雑誌論文] Isotope Effect of H^-/D^- Volume Production in Low-Pressure H_2/D_2 Plasmas - Measurement of VUV Emissions and Negative Ion Densities -2004

    • 著者名/発表者名
      O.Fukumasa
    • 雑誌名

      Contribution to Plasma Physics 44・5-6

      ページ: 516-522

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
  • [雑誌論文] Two-Dimensional Particle Simulation of Photo-Detached Electrons Hydrogen Plasma Including Negative Ions2004

    • 著者名/発表者名
      Y.Sakuai
    • 雑誌名

      7th Asia Pacific Conference on Plasma Science and Technology & 17th Symposium on Plasma Science for Materials

      ページ: 201

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
  • [雑誌論文] Study of Argon Additive in a Beam Injection Type Negative Ion Source Usin VUV Emission Spectroscopy2004

    • 著者名/発表者名
      N.Nakada
    • 雑誌名

      7th Asia Pacific Conference on Plasma Science and Technology & 17th Symposium on Plasma Science for Materials

      ページ: 447

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
  • [雑誌論文] High-Density ECR Plasma Production with Argon Addition for Negative Ion Sources2004

    • 著者名/発表者名
      T.Sakai
    • 雑誌名

      7th Asia Pacific Conference on Plasma Science and Technology & 17th Symposium on Plasma Science for Materials

      ページ: 448

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
  • [雑誌論文] Numerical Study on Physical Mechanism of Energy Dependent Electron Transport Across the Magnetic Filter2004

    • 著者名/発表者名
      M.Syouda
    • 雑誌名

      7th Asia Pacific Conference on Plasma Science and Technology & 17th Symposium on Plasma Science for Materials

      ページ: 449

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
  • [雑誌論文] D^- Density Distribution and Its Dependence on Plasma Parameters in Volume Negative Ion Sources2004

    • 著者名/発表者名
      S.Mori
    • 雑誌名

      7th Asia Pacific Conference on Plasma Science and Technology & 17th Symposium on Plasma Science for Materials

      ページ: 451

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
  • [雑誌論文] Isotope Effect of H^-/D^- Volume production in Low-Pressure H_2/D_2 Plasmas - Negative Ion Densities Versus Plasma Parameters -2004

    • 著者名/発表者名
      O.Fukumasa
    • 雑誌名

      10th Intermational Symposium on Production and Neutralization of Negative Ions and Beams

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
  • [雑誌論文] Extraction Probability of Negative Ions from Hydrogen Ion Sources - Effect of Filter Magnetic Field and Gas Pressure -2004

    • 著者名/発表者名
      O.Fukumasa
    • 雑誌名

      10th Intermational Symposium on Production and Neutralization of Negative Ions and Beams

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
  • [雑誌論文] Simulation of Photo-detached Electrons in Negative Ion Plasmas2004

    • 著者名/発表者名
      H.Naitou
    • 雑誌名

      Plasma Physics and Controlled Fusions Vol.46

      ページ: 1217-1230

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
  • [雑誌論文] Isotope Effect of H^-/D^- Volume Production in Low-pressure H_2/D_2 Plasmas - Measurement of VUV emission and Negative Ion Densities -2004

    • 著者名/発表者名
      O.Fukumasa
    • 雑誌名

      Contribution to Plasma Physics Vol.44, No.5-6

      ページ: 516-522

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
  • [雑誌論文] Two-Dimensional Particle Simulation of Photo-Detached Electrons Hydrogen Plasma Including Negative Ions2004

    • 著者名/発表者名
      Y.Sakurai
    • 雑誌名

      7th Asia Pacific Conference on Plasma Science and Technology & 17th Symposium on Plasma Science for Materials

      ページ: 201

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
  • [雑誌論文] Study of Argon Additive in a Beam Injection Type Negative Ion Source Using VUV Emission Spectroscopy2004

    • 著者名/発表者名
      N.Nakada
    • 雑誌名

      7th Asia Pacific Conference on Plasma Science and Technology & 17th Symposium on Plasma Science for Materials

      ページ: 447

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
  • [雑誌論文] Numerical Study on Physical Mechanism of Energy Dependent Electron Transport Across the Magnetic Filter2004

    • 著者名/発表者名
      M.Shouda
    • 雑誌名

      7th Asia Pacific Conference on Plasma Science and Technology & 17th Symposium on Plasma Science for Materials

      ページ: 449

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
  • [雑誌論文] Isotope Effect of H^-/D^- Volume Production in Low-Pressure H_2/D_2 Plasmas - Negative Ion Densities Versus Plasma Parameters -2004

    • 著者名/発表者名
      O.Fukumasa
    • 雑誌名

      10th International Symposium on Production and Neutralization of Negative Ions and Beams

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
  • [雑誌論文] Extraction Probability of Negative Ions from Hydrogen Ion Sources - Effect of Filter Magnetic Field and Gas Pressure -2004

    • 著者名/発表者名
      O.Fukumasa
    • 雑誌名

      10th International Symposium on Production and Neutralization of Negative Ions and Beams

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
  • [雑誌論文] Negative ion density distribution in a volume negative ion source - its dependence on plasma parameters -2003

    • 著者名/発表者名
      S.Mori
    • 雑誌名

      IEEE The 30th International Conference on Plasma Science

      ページ: 209

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
  • [雑誌論文] Control of plasma parameters in RF negative ion sources2003

    • 著者名/発表者名
      Y.Tauchi
    • 雑誌名

      IEEE The 30th International Conference on Plasma Science

      ページ: 210

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
  • [雑誌論文] Development of ECR negative ion sources - effects of argon addition of ECR plasmas -2003

    • 著者名/発表者名
      K.Fujioka
    • 雑誌名

      IEEE The 30th International Conference on Plasma Science

      ページ: 211

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
  • [雑誌論文] Isotope Effect of H^-/D^- Volume Production in Low-Pressure H_2/D_2 Plasmas - Measurement of VUV Emissions and Negative Ion Densities -2003

    • 著者名/発表者名
      O.Fukumasa
    • 雑誌名

      ICPIG XXVI International Conference on Phenomena in Ionized Gases 1

      ページ: 13-14

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
  • [雑誌論文] Modeling of negative ion transport in hydrogen ion source - analysis for velocity distribution of extracted H^- ions -2003

    • 著者名/発表者名
      T.Fukuchi
    • 雑誌名

      ICPIG XXVI International Conference on Phenomena in Ionized Gases 3

      ページ: 123-124

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
  • [雑誌論文] Control of plasma parameters in RF negative ion sources2003

    • 著者名/発表者名
      Y.Tauch
    • 雑誌名

      IEEE The 30th International Conference on Plasma Science

      ページ: 210

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
  • [雑誌論文] Isotope Effect of H^-/D^- Volume Production in Low-pressure H_2/D_2 Plasmas - Measurement of VUV Emission and Negative Ion Densities -2003

    • 著者名/発表者名
      O.Fukumasa
    • 雑誌名

      ICPIG XXVI International Conference on Phenomena in Ionized Gases Vol.1

      ページ: 13-14

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
  • [雑誌論文] Modeling of negative ion transport in hydrogen ion source - analysis for velocity distribution of extracted H^- ions -2003

    • 著者名/発表者名
      T.Fukuchi
    • 雑誌名

      ICPIG XXVI International Conference on Phenomena in Ionized Gases Vol.3

      ページ: 123-124

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
  • [雑誌論文] Study of isotope effect on H^-/D^- volume production in low-pressure H_2/D_2 plasmas using VUV emission2002

    • 著者名/発表者名
      O.Fukumasa
    • 雑誌名

      Proc. 9th Symp. Production & Neutralization of Negative Ions & Beams

      ページ: 28-34

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
  • [雑誌論文] Modeling of negative ion transport in hydrogen ion sources - estimation of extracted H^- current2002

    • 著者名/発表者名
      O.Fukumasa
    • 雑誌名

      Proc. 9th Symp. Production & Neutralization of Negative Ions & Beams

      ページ: 75-81

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
  • [雑誌論文] Study of isotope effect on H^-/D^- volume production in low-pressure H_2/D_2 plasmas using VUV emission2002

    • 著者名/発表者名
      O.Fukumasa
    • 雑誌名

      Proc.9th Symp.Production & Neutralization of Negative Ions & Beams

      ページ: 28-34

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
  • [雑誌論文] Modeling of negative ion transport in hydrogen ion sources - estimation of extracted H^- current2002

    • 著者名/発表者名
      O.Fukumasa
    • 雑誌名

      Proc.9th Symp.Production & Neutralization of Negative Ions & Beams

      ページ: 75-81

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
  • [図書] Production and Neutralization of Negative Ions and Beams2005

    • 著者名/発表者名
      Edited by Joseph D.Sherman, Yuri I.belchenko (分担執筆)
    • 総ページ数
      353
    • 出版者
      American Insitute of Physics
    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
  • [図書] Novel Materials Processing by Advanced Electromagnetic Energy Sources MAPEES' 042005

    • 著者名/発表者名
      Edited by S.Miyake (分担執筆)
    • 総ページ数
      458
    • 出版者
      ELSEVIER
    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
  • [図書] Production and Neutralization of Negative Ions and Beams2005

    • 著者名/発表者名
      Edited by Joseph D.Sherman, Yuri I.Belchenko
    • 総ページ数
      353
    • 出版者
      American Institute of Physics
    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
  • [図書] Novel Materials Processing by Advanced Electromagnetic Energy Sources MAPEES'042005

    • 著者名/発表者名
      Edited by S.Miyake
    • 総ページ数
      458
    • 出版者
      ELSEVIER
    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
  • [図書] Production and Neutralization of Negative Ions and Beams2002

    • 著者名/発表者名
      Edited by Martin P. Stockli (分担執筆)
    • 総ページ数
      208
    • 出版者
      American Institute of Physics
    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
  • [図書] Production and Neutralization of Negative Ions and Beams2002

    • 著者名/発表者名
      Edited by Martin P.Stockli
    • 総ページ数
      208
    • 出版者
      American Institute of Physics
    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より

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公開日: 2007-12-13  

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