| 研究概要 |
(1)変位センサの開発(市川,大塚)
ストローク20mmでの測長分解能0.2nmと0.5nmの小型変位センサを開発した.0.5nm分解能の変位センサ用スケール格子(ピッチP=4μm)は転写により大量生産できるので安価という特色を持つ.
(2)サブnm分解能の小型超精密位置決め装置の設計・製作(大塚,市川)
(a)上記0.5nm分解能の変位センサをフィードバック用として用いた小型位置決め装置を製作し,ステップ応答をくり返した結果,かたより誤差0.01nm,ばらつき誤差0.39nmを得た.
(b)上記0.2nm分解能の変位センサを用いて,ねじ軸を手動により回転して粗動とし,次にピエゾにかける電圧を同じく手動で調節して微動とする0.2nm分解能手動式位置決め装置を製作した.
(3)熱変形ドリフトの観察(大塚,恩田)
上記(2)(a)と同寸法,同駆動原理の10nm分解能の位置決め装置を長時間運転を行ったときのステージ上の熱変形ドリフトを測定した.その結果1.5時間の運転でモータと変位センサのプリアンプが熱源となって上下方向,水平方向に2μm弱のドリフトを生じることを確認した.
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