研究課題
基盤研究(B)
(1)0.2nm、0.5nm、1nm分解能の変位センサを開発した。(2)上記変位センサを用いて、0.2nm(手動制御)、0.5nm(自動制御)、1nm(自動制御)の分解能を持つ超精密位置決め装置を開発した。(3)上記超精密位置決め装置を長時間使用すると、モータ等の発生する熱により装置は熱変形する。装置のステージの水平方向、垂直方向の熱変形によるドリフトを測定した。そこでは、熱的特性の異なる4種類の金属を位置決め装置の構造材として用いた。ステンレス鋼は熱変形ドリフトが大きく、低熱膨張材は期待したほど熱変形ドリフトは小さくならなかった。(4)完全にドリフトを除く手段として、ビジュアルサーボシステムを光学顕微鏡に応用した。観察対象物が激しく移動しても顕微鏡の視野の中心に対象物を制御できた。(5)超精密位置決め装置の熱変形ドリフトを減少させる次のような方策を示した。(1)モータの熱を装置を支持する台へ逃がす方法、(2)モータとベースの間に断熱材を挿入する方法、(3)その他、装置を冷却する方法。
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Measurement of Science and Technology (IOP) 16(to be published)
J.Japan Society for Precision Engineers Vol.69,No.10
ページ: 1428-1433
J.Society of Instrument and Control Engineers Vol.41,No.11
ページ: 769-774
Measurement of Science and Control (Institute of physics publishing) Vol.16 (to be published)
