| 研究概要 |
今年度は装置のハードウエアを組み上げ,提案する測定法が正しく形状を測定できることを確認し,測定精度や速度の上限は何で制限されるのかを中心に調べた.以下に実施した研究開発内容を示す.
1.購入したZ軸超精密アクチュエータを用いて光路差を高精度で定速走査できるようにした.
2.光路差が所定の位相シフト量{≒(2n+1/2)π}に相当する距離を変化し終えた時,電気的なトリガーパルス信号を正確に発生できるようにした.
3.その信号を基に,ディジタルカメラに画像蓄積指示信号を送り,一方で,フラッシュ光源を(長波長バンドパスフィルター付きと短波長バンドパスフィルター付き)を交互に瞬間点灯させる電子回路を作製した.
4.購入した干渉顕微鏡を改造し,2個のフラッシュ光源とダイクロイックミラーを組み込み、必要なタイミングで交互にフラツシユイングしながら照明できるようにした.
5.干渉画像データから各波長での干渉位相を抽出するための位相計算(ハリハラン法)を行うプログラムを作成した.また,2波長での位相データの差から光路差ゼロの状態がいつの時点で発生していたかを計算し,これから形状データを計算するプログラムを作って本開発装置が高精度形状を測定できることを確認した.
6.測定精度と測定速度の向上で進める上で考慮しなければならないのは,対物レンズの焦点深度と干渉光のコレーレンス長,用いる2色光源の中心波長(波長差)と垂直移動ステップ長であることを確認した.
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