研究課題
基盤研究(C)
反応性ガスによる諸材料のプラズマレスエッチング特性とメカニズムの解析とその応用について主に検討した。基礎的なエッチング特性として、種々の熱処理を行ったスピンオングラス膜における無水フッ化水素に対する特性、シリコンや石英、ガラス状炭素における三フッ化塩素に対する特性を明らかにした。次に、三フッ化塩素を用いたプラズマレスエッチングの応用として、まず、熱型赤外線センサの作製プロセスへの適用を試みた。検出材料として多結晶シリコン膜を用い、ブリッジ構造を併せることにより高感度化を実現した。次に、太陽電池の反射損失低減のための微細テクスチャー構造の形成を多結晶シリコン基板に対してプラズマレスドライエッチングにより行い、単結晶の場合と同様以上の反射損失の低減効果を実現できた。次に、バイオセンサ・マイクロリアクタの作製を目的として、誘電泳動力を用いた微小セルソータ作製した。微小流路中で細胞を偏向させ、流れの中での軌跡を制御することができた。さらに、微小流路を形成するための基板貼り合わせ技術に関する検討を行った。酸化膜を有するシリコン基板を希フッ酸処理を行い、80℃以下で貼り合わせることに成功したが、均一性に改善の余地があることがわかった。また、さらに微細化するための検討を行い、シリコン基板上に幅1μmのパターンを形成できることまでを確認した。以上によりバイオセンサのための微細流路形成法への指針を得た。
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