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本年度は、研究実績は以下のとおり。
(1)高密度細胞整列デバイスの作製 高アスペクト比の加工が可能なICP/RIEを用いて、シリコン基板にアレイ状の微細な穴を一括して作製するプロセスを開発、テスト構造を作製した。
(2)高密度細胞整列デバイスによる微小構造物、細胞吸着の試行 (1)により作製したデバイスを液体中に設置し、微小構造物(マイクロビーズ)を液体中に散布し、デバイス裏面から液体の吸引を行うことにより、微小構造物が当デバイスに整列配置されることを確認した。これにより、液体の種類、濃度、流体速度、また、デバイス構造の大きさ、穴の配置等の評価および最適化を行い、さらに最適な構造の整列デバイスを作製し実際の細胞を用いてデバイスの細胞整列配置・操作システムとしての評価を行った。
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