|
3ヶ年計画の2年度として本年度は以下の研究を実施した。
チャネル導波路形光スイッチ試作・評価
チャネル導波路形光スイッチを実現するため、初年度で得られた研究成果をもとに次の基本要素の設計・試作・評価・検討を行った。
(1)分岐結合器
(2)曲がり導波路
(3)液晶への印加電圧用電極
続いて、これらの各基本要素を用いて、導波路形光スイッチを試作し、試作光スイッチの諸特性を評価・検討した。
光スイッチの集積化の検討・設計
導波路および光スイッチの性能をもとに、集積化のための素子の最適パラメータおよび素子配置について検討した。この検討結果を元に集積回路用光露光マスクの設計を行った。
|
