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2016 年度 実績報告書

ウルツ鉱構造を有するコアシェルナノワイヤ成長技術の確立とその発光デバイス応用

研究課題

研究課題/領域番号 14J01389
研究機関北海道大学

研究代表者

石坂 文哉  北海道大学, 情報科学研究科, 特別研究員(DC1)

研究期間 (年度) 2014-04-25 – 2017-03-31
キーワードナノワイヤ / 化合物半導体 / 結晶成長 / ウルツ鉱構造 / 発光デバイス
研究実績の概要

本研究では、ウルツ鉱構造を有するコアシェルナノワイヤの成長技術を確立し、ナノワイヤ発光デバイスへの応用を目的としている。本研究で用いているGaPおよびAlP系材料は、本来発光効率の低い間接遷移型半導体であるが、結晶構造を安定な閃亜鉛鉱構造から準安定なウルツ鉱構造に相転移させることで、発光効率の高い直接遷移型半導体となることが理論的に示されている。本年度では、赤色・黄色・緑色の波長領域にバンドギャップを持つウルツ鉱構造AlInPを結晶構造転写法により作製し、結晶構造・混晶組成・光学特性の評価を行った。以下に具体的な研究実施状況を示す。

1. MOVPE選択成長法によりInP(111)A基板上にウルツ鉱構造を有するInPナノワイヤを形成し、その側面にシェル層としてAlyIn1-yP/AlxIn1-xP/AlyIn1-yPダブルへテロ構造(y>x)を作製した。ダブルへテロ構造の形成は、透過型電子顕微鏡およびエネルギー分散型X線分析により確認した。本研究では、発光波長を制御するために、AlxIn1-xP成長時におけるAl原料供給比を変化させ複数のサンプルを作製した。
2. X線回折測定を用いて逆格子マッピングを取得しウルツ鉱構造を示す(10-15)反射点を分析することで、AlxIn1-xPの結晶構造を判別するとともに組成および歪みを調べる手法を確立した。その結果、いずれのサンプルにおいても、ウルツ鉱構造AlxIn1-xPはナノワイヤの長手方向に引張り歪みを受けており、その組成は成長時におけるAl原料供給比とほぼ等しいことが明らかになった。
3. カソードルミネッセンス測定によりウルツ鉱構造AlxIn1-xPの発光特性の評価を行った。ウルツ鉱構造AlxIn1-xPの組成比を変化させることで、発光波長を590~750 nmまで制御することに成功し、黄色および赤色発光を実証した。

現在までの達成度 (段落)

28年度が最終年度であるため、記入しない。

今後の研究の推進方策

28年度が最終年度であるため、記入しない。

  • 研究成果

    (7件)

すべて 2017 2016

すべて 雑誌論文 (4件) (うち査読あり 4件) 学会発表 (3件) (うち国際学会 2件)

  • [雑誌論文] Growth and characterization of wurtzite InP/AlGaP core-multishell nanowires with AlGaP quantum well structures2017

    • 著者名/発表者名
      F. Ishizaka, Y. Hiraya, K. Tomioka, J. Motohisa, and T. Fukui
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics

      巻: 56 ページ: 010311-1-4

    • DOI

      10.7567/JJAP.56.010311

    • 査読あり
  • [雑誌論文] Growth of All-Wurtzite InP/AlInP Core-Multishell Nanowires2017

    • 著者名/発表者名
      F. Ishizaka, Y. Hiraya, K. Tomioka, J. Motohisa, and T. Fukui
    • 雑誌名

      Nano Letters

      巻: 17 ページ: 1350-1355

    • DOI

      10.1021/acs.nanolett.6b03727

    • 査読あり
  • [雑誌論文] Growth of InGaAs Nanowires on Ge(111) by Selective-Area Metal-Organic Vapor-Phase Epitaxy2017

    • 著者名/発表者名
      A. Yoshida, K. Tomioka, F. Ishizaka, and J. Motohisa
    • 雑誌名

      Journal of Crystal Growth

      巻: 464 ページ: 75-79

    • DOI

      10.1016/j.jcrysgro.2016.10.083

    • 査読あり
  • [雑誌論文] Selective-Area Growth of Vertical InGaAs Nanowires on Ge for Transistor Application2016

    • 著者名/発表者名
      A. Yoshida, K. Tomioka, F. Ishizaka, K. Chiba, and J. Motohisa
    • 雑誌名

      ECS Transactions

      巻: 75 ページ: 265-270

    • DOI

      10.1149/07505.0265ecst

    • 査読あり
  • [学会発表] Structural and Optical Properties of Wurtzite InP/AlInP Core-Multishell Nanowires2016

    • 著者名/発表者名
      F. Ishizaka, Y. Hiraya, K. Tomioka, J. Motohisa, and T. Fukui
    • 学会等名
      2016 International Conference on Solid State Devices and Materials (SSDM2016)
    • 発表場所
      Tsukuba (Japan)
    • 年月日
      2016-09-26 – 2016-09-27
    • 国際学会
  • [学会発表] ウルツ鉱構造InP/AlInPコアマルチシェルナノワイヤの構造及び光学特性評価2016

    • 著者名/発表者名
      石坂文哉, 平谷佳大, 冨岡克広, 本久順一, 福井孝志
    • 学会等名
      第77回応用物理学会秋季学術講演会
    • 発表場所
      朱鷺メッセ(新潟)
    • 年月日
      2016-09-13 – 2016-09-16
  • [学会発表] Growth of Wurtzite AlInP in InP/AlInP Core-Shell Nanowires by Crystal Structure Transfer Method2016

    • 著者名/発表者名
      F. Ishizaka, Y. Hiraya, K. Tomioka, and T. Fukui
    • 学会等名
      18th International Conference on Metalorganic Vapor Phase Epitaxy (IC-MOVPE18)
    • 発表場所
      San Diego (USA)
    • 年月日
      2016-07-10 – 2016-07-15
    • 国際学会

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公開日: 2018-01-16  

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