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2016 年度 実績報告書

超高速新型トランジスタ実現に向けた新規酸窒化物半導体の創製

研究課題

研究課題/領域番号 14J05011
研究機関九州大学

研究代表者

松島 宏一  九州大学, システム情報科学府, 特別研究員(DC1)

研究期間 (年度) 2014-04-25 – 2017-03-31
キーワード酸窒化インジウム亜鉛 / フォトルミネッセンス / 二次元成長
研究実績の概要

エキシトントランジスタの動作実証のためには、励起レーザによるZnInONからの発光が不可欠である。平成28年度は、ZnInONからの発光起源を同定するため、ZnInONからの発光とZnInON膜の表面モフォロジー、欠陥密度との関係などについて調べた。
1.ZnInONのフォトルミッセンス観測
ZnInON膜はRFマグネトロンスパッタリング法により、基板温度RT-450℃で作製した。基板にはZnOテンプレートを用いた。RT-150℃で作製したZnInON膜は2次元成長し、250-450℃で作製したZnInON膜は3次元成長していた。He-Cdレーザ(励起波長325 nm)を照射し、ZnInON膜のフォトルミッセンス測定を行った。3次元成長しているZnInON膜からの発光は観測されなかった。一方、2次元成長しているZnInON膜ではZnInON由来の発光が観測された。X線回折結果から刃状転位密度を算出したところ、2次元成長領域では6.6×108 cm-3とほぼ一定であったのに対し、3次元成長領域では1.6×1010 cm-3まで増加した。これらの結果から、低温形成したZnInON膜では、非発光中心となる欠陥密度が低減され、ZnInONからの発光が観測されたと考えられる。

2.ZnInON膜の発光の空間分布
RTで形成したZnInON膜のフォトルミネッセンススペクトルは広がりを持っていた。励起レーザを異なる位置に照射し、RTで作製したZnInON膜のフォトルミネッセンス測定を行ったところ、照射位置に依存した強い青色・緑色発光を観測した。このように、同一の薄膜の空間位置により発光スペクトルが異なるのは、組成・構造・欠陥などが空間的に不均一に分布していることを反映しているものとと考えられる。この原因の同定と空間均一な発光スペクトルを示す薄膜の実現が残された課題である。

現在までの達成度 (段落)

28年度が最終年度であるため、記入しない。

今後の研究の推進方策

28年度が最終年度であるため、記入しない。

  • 研究成果

    (5件)

すべて 2017 2016

すべて 雑誌論文 (2件) (うち査読あり 2件、 謝辞記載あり 2件) 学会発表 (3件) (うち国際学会 2件)

  • [雑誌論文] Densities and Surface Reaction Probabilities of Oxygen and Nitrogen Atoms During Sputter Deposition of ZnInON on ZnO2017

    • 著者名/発表者名
      Koichi Matsushima, Tomoaki Ide, Keigo Takeda, Masaru Hori, Daisuke Yamashita, Hyunwoong Seo, Kazunori Koga, Masaharu Shiratani, and Naho Itagaki
    • 雑誌名

      IEEE Transactions on Plasma Science

      巻: 45 ページ: 323-327

    • DOI

      https://doi.org/10.1109/TPS.2016.2632124

    • 査読あり / 謝辞記載あり
  • [雑誌論文] Blue Photoluminescence of (ZnO)0.92(InN)0.082017

    • 著者名/発表者名
      Koichi Matsushima, Kazuya Iwasaki, Nanoka Miyahara, Daisuke Yamashita, Hyunwoong Seo, Kazunori Koga, Masaharu Shiratani, and Naho Itagaki
    • 雑誌名

      MRS Advances

      巻: 2 ページ: 277-282

    • DOI

      https://doi.org/10.1557/adv.2016.625

    • 査読あり / 謝辞記載あり
  • [学会発表] RFマグネトロンスパッタリング法で作製した(ZnO)x(InN)1-x膜のフォトルミネッセンス2017

    • 著者名/発表者名
      松島宏一,宮原奈乃華,岩崎和也,山下大輔, 徐鉉雄,古閑一憲,白谷正治,板垣奈穂
    • 学会等名
      第64回応用物理学会春季学術講演会
    • 発表場所
      横浜
    • 年月日
      2017-03-17 – 2017-03-17
  • [学会発表] Blue and green photoluminescence of (ZnO)0.92(InN)0.082016

    • 著者名/発表者名
      Koichi Matsushima, Kazuya Iwasaki, Nanoka Miyahara, Daisuke Yamashita, Hyunwoong Seo, Kazunori Koga, Masaharu Shiratani, and Naho Itagaki
    • 学会等名
      2016 MRS Fall Meeting & Exhibit
    • 発表場所
      BOSTON
    • 年月日
      2016-12-01 – 2016-12-01
    • 国際学会
  • [学会発表] Relationship between Electric Properties and Surface Flatness of (ZnO)x(InN)1-x films on ZnO templates2016

    • 著者名/発表者名
      Koichi Matsushima, Masaharu Shiratani, Naho Itagaki
    • 学会等名
      16th International Conference on Nanotechnology
    • 発表場所
      SENDAI
    • 年月日
      2016-08-23 – 2016-08-23
    • 国際学会

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公開日: 2018-01-16  

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