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2006 年度 実績報告書

レーザープラズマ軟X線光源を用いた超高分解能多元物質顕微鏡の開発

研究課題

研究課題/領域番号 15002001
研究機関東北大学

研究代表者

山本 正樹  東北大学, 多元物質科学研究所, 教授 (00137887)

研究分担者 柳原 美廣  東北大学, 多元物質科学研究所, 教授 (40174552)
羽多野 忠  東北大学, 多元物質科学研究所, 助手 (90302223)
江島 丈雄  東北大学, 多元物質科学研究所, 助手 (80261478)
津留 俊英  東北大学, 多元物質科学研究所, 助手 (30306526)
豊田 光紀  東北大学, 多元物質科学研究所, 助手 (40375168)
キーワード軟X線 / 多層膜 / 顕微鏡 / レーザープラズマ / 周期膜厚分布制御 / スパッタリング / エリプソメーター / 成膜レートモニター
研究概要

本研究では,実験室規模で軟X線を結像に利用する要素技術を開発統合して分解能50nmの回折限界軟X線顕微鏡を反射型で実現する.まず,軟X線結像ミラー用の曲面基板上に高精度多層膜を高再現性で製作して曲面ミラーを製作する(1)特殊成膜装置と,特性を評価する(2)高精度軟X線分光反射率計測装置を開発する.この曲面ミラー製作・評価技術を軟X線多層膜工学の基礎技術として,さらに反射波面誤差を計測する(3)軟X線干渉計と誤差を補正する(4)多層膜表面ミリング波面補正装置を開発して回折限界結像を目指す.
研究は,最も困難な課題であった曲面ミラー製作の(1)装置による超精密結像用の特殊多層膜成膜技術でnm周期のpm計測・制御を達成した.この技術で,失敗の許されない軟X線干渉計用の狭帯域集光鏡と精密参照鏡の超研磨曲面基板への成膜を完了した.また,顕微鏡用の超研磨凹面と凸面基板にも本成膜を完了し.十分な波長マッチング特性を得た.評価には放射光を利用した.調整を進めている曲面ミラー評価の(2)装置によって,多層膜の反射率と周期膜厚を実験室規模で精密計測する準備を進めている.(1)と(2)の開発で,多層膜製作・評価の基礎技術がそれぞれ実用化できる.
開発目標の軟X線顕微鏡本体は,多元物質科学研究所内で機械部の製作と組み立てを完了し,(1)装置で本成膜したミラーを組み込んで調整を進めている.残る波面誤差計測・補正では,計測の(3)干渉計に(1)装置で本成膜した集光鏡と参照鏡を組み込んで調整を開始した.補正の(4)装置では,大口径平行ビームとテンプレートマスクを組み合わせたデジタルミリング新方式での設計・製作を完了し,備品導入した.予備実験で,直径10cmの結像鏡多層膜のミリングを数時間で完了できるミリング速度を得た.本体ミラーの波面誤差計測と補正で分解能達成を目指す.

  • 研究成果

    (14件)

すべて 2007 2006

すべて 雑誌論文 (13件) 図書 (1件)

  • [雑誌論文] Reflection passband broadening by aperiodic designs of EUV/soft X-ray multilayers2007

    • 著者名/発表者名
      T.Tsuru
    • 雑誌名

      AIP Proceedings 879

      ページ: 1524-1527

  • [雑誌論文] Optimal design of multilayer mirrors for water-window microscope optics2007

    • 著者名/発表者名
      Y.Uspenskii
    • 雑誌名

      Optical Review 14

      ページ: 64-73

  • [雑誌論文] Photoelectron spectroscopy with phases of standing waves observed by total electron yield and reflection spectra2007

    • 著者名/発表者名
      T.Ejima
    • 雑誌名

      AIP conference proceedings 879

      ページ: 1634

  • [雑誌論文] Investigation of soft X-ray multilayer fabrication by an in-situ ellipsometric deposition monitor2006

    • 著者名/発表者名
      T.Tsuru
    • 雑誌名

      IPAP Conference Series 7

      ページ: 168-170

  • [雑誌論文] In-situ ellipsometric monitor with layer-by-layer analysis for precise thickness control of EUV multilayer optics2006

    • 著者名/発表者名
      T.Tsuru
    • 雑誌名

      Thin Solid Films 515

      ページ: 947-951

  • [雑誌論文] Nanometer-scale period Sc/Cr multilayer mirrors and their thermal stability2006

    • 著者名/発表者名
      E.Majkova
    • 雑誌名

      Thin Solid Films 497

      ページ: 115-120

  • [雑誌論文] Analytical Designing of Two-Aspherical-Mirror Anastigmat Permitting Practical Misalignments for Soft-X-Ray Imaging2006

    • 著者名/発表者名
      M.Toyoda
    • 雑誌名

      IPAP Conference Series 7

      ページ: 186-188

  • [雑誌論文] Modification of a Laboratory Soft X-Ray Spectro-Reflectometer for Evaluation of a Spherical Mirror2006

    • 著者名/発表者名
      T.Ohigashi
    • 雑誌名

      IPAP Conference Series 7

      ページ: 189-191

  • [雑誌論文] Narrow Band Mo/Si Multilayers with Thick Si Structures2006

    • 著者名/発表者名
      T.Harada
    • 雑誌名

      IPAP Conference Series 7

      ページ: 195-197

  • [雑誌論文] Studies of multilayer structure in depth direction by soft X-ray spectroscopy2006

    • 著者名/発表者名
      M.Watanabe
    • 雑誌名

      Nucl. Sci. Tech. 17

      ページ: 257-267

  • [雑誌論文] 反射率測定と全光電子収量測定を合わせた極紫外反射多層膜の位相測定法2006

    • 著者名/発表者名
      江島丈雄
    • 雑誌名

      分光研究 第55巻第4号

      ページ: 259-260

  • [雑誌論文] Phase change observation in reflection multilayers by total electron yield and reflection spectra2006

    • 著者名/発表者名
      T.Ejima
    • 雑誌名

      Appl. Phys. Lett. 89

      ページ: 021914

  • [雑誌論文] Microscopic optical and photoelectron measurements of MWO4 (M=Mn, Fe, and Ni)2006

    • 著者名/発表者名
      T.Ejima
    • 雑誌名

      Journal of Luminescence 119-120

      ページ: 59-63

  • [図書] EUV光源の開発と応用 第II編「EUVリソグラフィ用のマスクとレジスト技術」第1章「X線多層膜の物理」2007

    • 著者名/発表者名
      山本正樹
    • 総ページ数
      183-196
    • 出版者
      (株)シーエムシー出版

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公開日: 2008-05-08   更新日: 2016-04-21  

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