| 研究概要 |
本研究では“マイクロ空間プロセスプラズマの生成,物性,そして,新しい材料プロセスへの応用研究"を通じ,『マイクロ空間でのプラズマ材料プロセスエ学の創製』を最終ゴールとし,具体的には従来のマクロプラズマでは実現不可能な以下のような材料デバイスプロセスの開発を進めた.
(A) 超臨界流体プラズマを用いた超高速プラズマ超微細加工法(堆積)の開発:超臨界流体プラズマプロセス装置の開発,プラズマ物性測定,マイクロプラズマの超高密度性,高輸送プロセス性などを生かしたカーボンナノマテリアル合成, Cu堆積への応用を行った.非平衡超臨界流体プラズマの発生,高密度性,臨界点付近での特異的な高速合成プロセス性などを明らかにした.
(B) 新マテリアル/反応探索:大気圧・液中マイクロプラズマジェット装置・超臨界クラスタープラズマ装置の開発,および,それらのプラズマ診断,マイクロプラズマの超非平衡プロセス性などを生かした,続々とユニークなナノクラスタ物質が発見されているカーボン系における新しいナノクラスタ物質などの探索を目指した.いくつかの特異ナノ構造カーボン物質,銅ナノ物質の合成に成功した.
(C) 集積プラズマデバイス(プラズマチップ)の開発:材料プロセス用のマイクロプラズマを集積させたプラズマデバイス装置(プラズマチップ,プラズマファイバー)の開発,および,そのプラズマ物性測定を行った.
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