| 研究概要 |
本研究では,壁表面や近傍において「プラズマをマイクロスケールでみる」というプラズマミクロ観察の新たな領域を切り開き,壁とプラズマの相互作用を明確にし,マイクロプラズマの基礎的理解を進め,応用開発研究を行うことを目指した.
この間「レーザー誘起エヴァネッセント波蛍光分光法(LIEF)」「クロスビーム型LIEF法」「光導波路型レーザー吸収分光法」を新たに開発し,壁に置けるプラズマ励起種の存在とその絶対値を測定し,壁での反射率の見積もりを行い,壁近傍での励起種ダイナミックスを明確にした.
また,壁の帯電のダイナミックスを明らかにするため「レーザー偏光分析法」発展させ,マイクロギャップバリアー放電帯電の時間場所依存性を明確にした.また大気圧マイクロバリアー放電の真の絶縁破壊電圧を求め,プラズマ一様性の特性を説明した.さらに壁電荷の積極的利用として,外部照射光による壁電荷変調と放電の制御の研究を進めた.
これらの成果を踏まえて,マイクロジェットや二次元マイクロアレー型大気圧真空紫外光源ランプの開発,滅菌・殺菌など医用プラズマ処理技術開発などへのマイクロプラズマ応用研究を行った.
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