• 研究課題をさがす
  • 研究者をさがす
  • KAKENの使い方
  1. 課題ページに戻る

2005 年度 研究成果報告書概要

ゲート絶縁膜被覆カーボンナノチューブ作製技術の開拓と量子ナノデバイス応用

研究課題

研究課題/領域番号 15206005
研究種目

基盤研究(A)

配分区分補助金
応募区分一般
研究分野 薄膜・表面界面物性
研究機関大阪大学

研究代表者

片山 光浩  大阪大学, 大学院・工学研究科, 教授 (70185817)

研究分担者 本多 信一  大阪大学, 大学院・工学研究科, 助手 (90324821)
大門 秀朗  九州工業大学, 工学研究科, 助教授 (20324816)
研究期間 (年度) 2003 – 2005
キーワードカーボンナノチューブ / パルスレーザー蒸着法 / 無機材料被膜 / 多層被膜 / 走査トンネル顕微鏡 / ナノ電気機械システム / ハイブリッドナノワイヤ
研究概要

カーボンナノチューブ(CNT)は、次世代のナノエレクトロニクスを切り開く可能性を大きく秘めた材料である。例えば、半導体CNTをチャネルとした電界効果トランジスタ(CNT-FET)は、バリステイック伝導やクーロンブロッケードが発現する量子ナノデバイスとして期待されている。CNT-FETを集積回路のBuilding Blockとするためには、個々のCNT-FETを独立に駆動できることが必要であり、個々のCNTにゲート絶縁膜とゲート電極が施されたトップゲート構造の形成が不可欠である。トップゲートCNT-FETの作製については、CNTをチャネルとする以外は、ゲート絶縁膜をパターニングする従来の半導体微細加工技術に大きく依存しているのが現状である。
そこで、本研究では、トップゲートCNT-FETの構築を高スループット化するため、ゲート絶縁膜で予め被覆されたCNTを作製する技術を開拓することを目的とした。具体的には、パルスレーザー蒸着法により絶縁膜をCNTの一部に被覆し、この技術に基づいてゲート絶縁膜被覆CNTをBuilding Blockとする量子ナノデバイスの開発を目指した。特筆すべき結果として、以下のような新しい事実が得られた。
(1)パルスレーザ蒸着法により、種々の無機材料で被膜されたCNTの作製に成功した。例えば、酸化物被膜CNTでは、酸化膜がナノメートルオーダーで同軸状に均一に被膜されており、酸化膜はCNTの形状を忠実に反映していた。また、組成比は導入酸素分圧により精密に制御することができた。さらに、無機材料を繰り返し蒸着することにより、多層被膜CNTの作製にも成功した。
(2)開発されたCNT被膜技術を駆使して、金属、合金、化合物被膜CNTやCNTをテンプレートにハイブリッドナノワイヤを作製し、走査トンネル顕微鏡の探針、ナノ電気機械システム(NEMS)のBuilding Blockなどのナノデバイスへの応用に成功した。ハイブリッドナノワイヤのNEMS応用において、CNTをテンプレートに酸化アルミニウムと酸化タングステンの2種の異なる無機材料で被膜して作製したナノワイヤは、被膜材料の熱膨張係数の違いにより加熱するにつれて偏位を示した。これら一連の熱駆動による偏位は繰り返し再現可能であることを確認した。

  • 研究成果

    (44件)

すべて 2005 2004 2003

すべて 雑誌論文 (44件)

  • [雑誌論文] Self-assembly formation of the ordered nanostructure arrays induced by Be interaction with Si(111) Surface2005

    • 著者名/発表者名
      Mitsuhiro Katayama 他7名
    • 雑誌名

      Surface Science 574

      ページ: 99-109

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
  • [雑誌論文] Growth of single-walled carbon nanotubes rooted from Fe/Al nanoparticle array2005

    • 著者名/発表者名
      Mitsuhiro Katayama 他9名
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics Vol.44, No.1A

      ページ: 457-460

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
  • [雑誌論文] In Situ Monitoring of Surface Processes in Plasma by Coaxial Impact-Collision Ion Scattering Spectroscopy2005

    • 著者名/発表者名
      Mitsuhiro Katayama 他3名
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics Vol.44, No.4A

      ページ: 1911-1914

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
  • [雑誌論文] Correlation between Field Electron Emission and Structural Properties in Randomly and Vertically Oriented Carbon Nanotube Films2005

    • 著者名/発表者名
      Mitsuhiro Katayama 他6名
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics Vol.44, No.4A

      ページ: 1655-1660

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
  • [雑誌論文] Sb Atom Reconstruction Induced by Atomic Hydrogen Interaction with Si(111) 【square root】3×【square root】3 Surface2005

    • 著者名/発表者名
      Mitsuhiro Katayama 他4名
    • 雑誌名

      Surface Science Vol.581

      ページ: 17-23

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
  • [雑誌論文] Long-Period Modulations in the Linear Chains of T1 Atoms on Si(100)2005

    • 著者名/発表者名
      Mitsuhiro Katayama 他12名
    • 雑誌名

      Physical Review B Vol.71

      ページ: 16307-1-16307-4

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
  • [雑誌論文] Effect of Oxygen Addition to Methane on Growth of Vertically Oriented Carbon Nanotubes by Radio-Frequency Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition2005

    • 著者名/発表者名
      Mitsuhiro Katayama 他4名
    • 雑誌名

      Journal of Applied Physics Vol.97,No.10

      ページ: 104329-1-104329-4

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
  • [雑誌論文] Development of Low-Energy Neutral Atom Scattering Spectroscopy Based on CAICISS Operable in Gas Phase Atmosphere2005

    • 著者名/発表者名
      Mitsuhiro Katayama 他4名
    • 雑誌名

      Nuclear Instruments and Methods in Physics Research B Vol.232

      ページ: 290-294

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
  • [雑誌論文] Determination of Lattice Polarity and Surface Relaxation of ZnO(0001)-Zn Surface by Coaxial Impact-Collision Ion Scattering Spectroscopy2005

    • 著者名/発表者名
      Mitsuhiro Katayama 他6名
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics Vol.44, No.41

      ページ: L1285-L1288

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
  • [雑誌論文] Coating Carbon Nanotubes with Inorganic Materials by Pulsed Laser Deposition2005

    • 著者名/発表者名
      Mitsuhiro Katayama 他6名
    • 雑誌名

      Journal of Applied Physics Vol.98, No.11

      ページ: 114305-1-114305-4

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
  • [雑誌論文] Growth of Single-Walled Carbon Nanotubes Rooted from Fe/Al Catalyst Nanoparticle Array2005

    • 著者名/発表者名
      W.Wongwiriyapan, M.Katayama, T.Ikuno, N.Yamauchi, T.Mizuta, T.Murakami, S.Honda, K.Oura, K.Kisoda, H.Harima
    • 雑誌名

      Jpn.J.Appl.Phys. 44, Part 1, No.1A

      ページ: 457-460

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
  • [雑誌論文] Self-Assembly Formation of the Ordered Nanostructure Arrays Induced by Be Interaction with Si(111) Surface2005

    • 著者名/発表者名
      A.A.Saranin, A.V.Zotov, V.G.Kotlyar, T.V.Kasyanova, O.A.Utas, H.Okado, M.Katayama, K.Oura
    • 雑誌名

      Surf.Sci. 574

      ページ: 99-109

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
  • [雑誌論文] In Situ Monitoring of Surface Processes in Plasma by Coaxial Impact-Collision Ion Scattering Spectroscopy2005

    • 著者名/発表者名
      S.Fujii, M.Katayama, Y.Michishita, K.Oura
    • 雑誌名

      Jpn.J.Appl.Phys. 44, Part 1, No.4A

      ページ: 1911-1914

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
  • [雑誌論文] Correlation between Field Electron Emission and Structural Properties in Randomly and Vertically Oriented Carbon Nanotube Films2005

    • 著者名/発表者名
      T.Ikuno, S.Honda, H.Furuta, K.Aoki, T.Hirao, K.Oura, M.Katayama
    • 雑誌名

      Jpn.J.Appl.Phys. 44, Part 1, No.4A

      ページ: 1655-1660

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
  • [雑誌論文] Sb Atom Reconstruction Induced by Atomic Hydrogen Interaction with Si(111)【square root】3x【square root】3-Sb Surface2005

    • 著者名/発表者名
      O.Kubo, T.Fujino, J.-T.Ryu, K.Oura, M.Katayama
    • 雑誌名

      Surf.Sci. 581

      ページ: 17-23

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
  • [雑誌論文] Long-Period Modulations in the Linear Chains of Tl Atoms on Si(100)2005

    • 著者名/発表者名
      A.A.Saranin, A.V.Zotov, I.A.Kuyanov, V.G.Kotlyar, M.Kishida, Y.Murata, H.Okado, I.Matsuda, H.Morikawa, N.Miyata, S.Hasegawa, M.Katayama, K.Oura
    • 雑誌名

      Phys.Rev.B 71

      ページ: 165307

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
  • [雑誌論文] Effect of Oxygen Addition to Methane on Growth of Vertically Oriented Carbon Nanotubes by Radio-Frequency Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition2005

    • 著者名/発表者名
      T.Ikuno, S.Honda, K.Kamada, K.Oura, M.Katayama
    • 雑誌名

      J.Appl.Phys. 97

      ページ: 104329

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
  • [雑誌論文] Development of Low-Energy Neutral Atom Scattering Spectroscopy Based on CAICISS Operable in Gas Phase Atmosphere2005

    • 著者名/発表者名
      S.Fujii, Y.Michishita, N.Miyamae, K.Oura, M.Katayama
    • 雑誌名

      Nucl.Instrum. & Methods Phys.Res.B 232

      ページ: 290-294

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
  • [雑誌論文] Determination of Lattice Polarity and Surface Relaxation of ZnO(0001)-Zn Surface by Coaxial Impact-Collision Ion Scattering Spectroscopy2005

    • 著者名/発表者名
      S.Fujii, Y.Michishita, N.Miyamae, H.Suto, S.Honda, K.Oura, M.Katayama
    • 雑誌名

      Jpn.J.Appl.Phys. 44, Part 2, Letters, No.41

      ページ: L1285-L1288

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
  • [雑誌論文] Coating Carbon Nanotubes with Inorganic Materials by Pulsed Laser Deposition2005

    • 著者名/発表者名
      T.Ikuno, T.Yasuda, S.Honda, K.Oura, M.Katayama, J.-G.Lee, H.Mori
    • 雑誌名

      J.Appl.Phys. 98

      ページ: 114305

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
  • [雑誌論文] Submonolayer Er phases on Si(111)2004

    • 著者名/発表者名
      Mitsuhiro Katayama 他5名
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics Vol.43, No.3

      ページ: 1110-1113

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
  • [雑誌論文] Metal-coated carbon nanotube tip for scanning tunneling microscope2004

    • 著者名/発表者名
      Mitsuhiro Katayama 他9名
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics Vol.43, No.5A

      ページ: L644-L646

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
  • [雑誌論文] Local etching of insulator-coated carbon nanotubes Towards passivated nanoprobes2004

    • 著者名/発表者名
      Mitsuhiro Katayama 他7名
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics Vol.43, No.7B

      ページ: L987-L989

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
  • [雑誌論文] Ordered arrays of Be-encapsulated Si nanotubes on Si(111)surface2004

    • 著者名/発表者名
      Mitsuhiro Katayama 他7名
    • 雑誌名

      Nano Letters Vol.4, No.8

      ページ: 1469-1473

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
  • [雑誌論文] Metal-Coated Carbon Nanotube Tip for Scanning Tunneling Microscope2004

    • 著者名/発表者名
      T.Ikuno, M.Katayama, M.Kishida, K.Kamada, Y.Murata, T.Yasuda, S.Honda, J.-G.Lee, H.Mori, K.Oura
    • 雑誌名

      Jpn.J.Appl.Phys. 43, Part 2, No.5A

      ページ: L644-L646

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
  • [雑誌論文] Local Etching of Insulator-Coated Carbon Nanotubes towards Passivated Nanoprobes2004

    • 著者名/発表者名
      T.Ikuno, M.Katayama, K.-Y.Lee, T.Kuzuoka, S.Honda, J.-G.Lee, H.Mori, K.Oura
    • 雑誌名

      Jpn.J.Appl.Phys. 43, Part 2, No.7B

      ページ: L987-L989

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
  • [雑誌論文] Ordered Arrays of Be-Encapsulated Si Nanotubes on Si(111) Surface2004

    • 著者名/発表者名
      A.A.Saranin, A.V.Zotov, V.G.Kotlyar, T.V.Kasyanova, O.A.Utas, H.Okado, M.Katayama, K.Oura
    • 雑誌名

      Nano Letters 4, No.8

      ページ: 1469-1473

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
  • [雑誌論文] Submonolayer Er Phases on Si(111)2004

    • 著者名/発表者名
      A.A.Saranin, A.V.Zotov, I.V.Pisarenko, V.G.Lifshits, M.Katayama, K.Oura
    • 雑誌名

      Jpn.J.Appl.Phys. 43, Part 1, No.3

      ページ: 1110-1113

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
  • [雑誌論文] Synthesis of Aligned Carbon Nanofibers at 200℃2003

    • 著者名/発表者名
      Mitsuhiro Katayama 他9名
    • 雑誌名

      Jpn.J.Appl.Phys 42

      ページ: L804-L806

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
  • [雑誌論文] Insulator-Coated Carbon Nanotubes Synthesized by Pulsed Laser Deposition2003

    • 著者名/発表者名
      Shin-ichi Honda 他6名
    • 雑誌名

      Jpn.J.Appl.Phys 42

      ページ: L1356-L1358

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
  • [雑誌論文] Influence of Plasma State on the Structural Property of Vertically Oriented Carbon Nanotubes Grown by RF Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition2003

    • 著者名/発表者名
      Mitsuhiro Katayama 他6名
    • 雑誌名

      Jpn.J.Appl.Phys 42

      ページ: 6717-6720

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
  • [雑誌論文] Effect of Substrate Surface Phase on the Shape of Self-Organized Al Nanoclusters on Si(100) Formed upon Atomic Hydrogen Exposure2003

    • 著者名/発表者名
      Mitsuhiro Katayama 他7名
    • 雑誌名

      Jpn.J.Appl.Phys 42

      ページ: L432-L434

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
  • [雑誌論文] Real-Time Scanning Tunneling Microscope Observations of High-Temperature Oxygen Reaction with the 6H-SiC(0001) 【square root】3×【square root】3 Surface2003

    • 著者名/発表者名
      Mitsuhiro Katayama 他6名
    • 雑誌名

      Jpn.J.Appl.Phys 42

      ページ: L451-L454

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
  • [雑誌論文] Quantitative Analysis of Hydrogen-Induced Si Segregation on Ge-Covered Si(001) Surface2003

    • 著者名/発表者名
      Mitsuhiro Katayama 他5名
    • 雑誌名

      Jpn.J.Appl.Phys 42

      ページ: L485-L488

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
  • [雑誌論文] Surface reactions of 6H-SiC (0001) 3×3 with oxygen molecules at various temperatures2003

    • 著者名/発表者名
      Mitsuhiro Katayama 他6名
    • 雑誌名

      Surface Science 529

      ページ: 107-113

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
  • [雑誌論文] Exploring surface processes by coaxial impact-collision ionscatteringspectroscopy and time-of-flight elastic recoil detection analysis2003

    • 著者名/発表者名
      Mitsuhiro Katayama
    • 雑誌名

      Current Applied Physics 3

      ページ: 65-69

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
  • [雑誌論文] Synthesis of Aligned Carbon Nanofibers at 200℃2003

    • 著者名/発表者名
      K.-Y.Lee, M.Katayama, S.Honda, T.Kuzuoka, T.Miyake, Y.Terao, J.G.Lee, H.Mori, T.Hirao, K.Oura
    • 雑誌名

      Jpn.J.Appl.Phys. 42, Part 2, No.7B, Express Letter

      ページ: L804-L806

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
  • [雑誌論文] Insulator-Coated Carbon Nanotubes Synthesized by Pulsed Laser Deposition2003

    • 著者名/発表者名
      T.Ikuno, M.Katayama, K.Kamada, S.Honda, J.-G.Lee, H.Mori, K.Oura
    • 雑誌名

      Jpn.J.Appl.Phys. 42, Part 2, No.11B, Express Letter

      ページ: L1356-L1358

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
  • [雑誌論文] Influence of Plasma State on the Structural Property of Vertically Aligned Carbon Nanotubes Grown by RF Plasma Chemical Vapor Deposition2003

    • 著者名/発表者名
      T.Ikuno, M.Katayama, S.Takahashi, K.Kamada, S.Hiwatashi, S.Ohkura, S.Honda, K.Oura
    • 雑誌名

      Jpn.J.Appl.Phys. 42, Part 1, No.10

      ページ: 6717-6720

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
  • [雑誌論文] Effect of Substrate Surface Phase on the Shape of Self-organized Al Nanoclusters on Si(100) Formed upon Atomic Hydrogen Exposure2003

    • 著者名/発表者名
      S.Itou, O.Kubo, N.Yamaoka, A.Nishida, M.Katayama, A.A.Saranin, A.V.Zotov, K.Oura
    • 雑誌名

      Jpn.J.Appl.Phys. 42, Part 2, No.4B

      ページ: L432-L434

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
  • [雑誌論文] Real-Time Scanning Tunneling Microscope Observations of High-Temperature Oxygen Reaction with the 6H-SiC(0001)【square root】3x【square root】3 surface2003

    • 著者名/発表者名
      H.Okado, O.Kubo, N.Yamaoka, S.Itou, A.Nishida, M.Katayama, K.Oura
    • 雑誌名

      Jpn.J.Appl.Phys. 42, Part 2, No.5A

      ページ: L451-L454

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
  • [雑誌論文] Quantitative Analysis of Hydrogen-Induced Si Segregation on Ge-Covered Si(001) Surface2003

    • 著者名/発表者名
      T.Fujino, M.Katayama, S.Inoue, A.Tatsumi, T.Horikawa, K.Oura
    • 雑誌名

      Jpn.J.Appl.Phys. 42, Part 2, No.5A

      ページ: L485-L488

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
  • [雑誌論文] Surface Reaction of 6H-SiC(0001)3x3 with Oxygen Molecules at Various Temperatures2003

    • 著者名/発表者名
      O.Kubo, T.Kobayashi, N.Yamaoka, S.Itou, A.Nishida, M.Katayama, K.Oura
    • 雑誌名

      Surf.Sci. 529

      ページ: 107-113

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
  • [雑誌論文] Exploring Surface Processes by Coaxial Impact-Collision Ion Scattering Spectroscopy and Time-of-Flight Elastic Recoil Detection Analysis2003

    • 著者名/発表者名
      M.Katayama
    • 雑誌名

      Current Applied Physics 3

      ページ: 65-69

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より

URL: 

公開日: 2007-12-13  

サービス概要 検索マニュアル よくある質問 お知らせ 利用規程 科研費による研究の帰属

Powered by NII kakenhi