| 研究課題/領域番号 |
15206012
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| 研究機関 | 名古屋大学 |
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研究代表者 |
後藤 俊夫 名古屋大学, 工学研究科, 教授 (50023255)
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| 研究分担者 |
西澤 典彦 名古屋大学, 工学研究科, 助手 (30273288)
堀 勝 名古屋大学, 工学研究科, 助教授 (80242824)
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| キーワード | フェムト秒 / 波長可変 / 吸収分光 / ファイバレーザー / プラズマプロセス |
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| 研究概要 |
波長可変フェムト秒ファイバーレーザーを用いて、超高感度で基板表面分子等を計測するために、波長可変フェムト秒ファイバーレーザーからの出射光を基盤表面に照射し、その反射光を増幅して時間分解計測する光学系の設計と装置の開発を行なった。その結果、下記の知見を得た。
1)プラズマ励起反応場の対象を有機薄膜とし、有機薄膜構造におけるOHおよびCOOH基に起因する光吸収に対して、波長可変レーザーを用いた高感度吸収分光システムの設計を行なった。具体的には、同吸収帯のピークをカバーする波長範囲を1.5μmを中心波長として±0.2μm程度の波長範囲を可変するレーザーシステムと同レーザーから出射する広帯域光(スーパーコンティニウム光)を用いたレーザーシステムを構築するために、上記波長の光を反射する多層膜からなる高反射率ミラーを設計した。
2)同システムにおけるレーザー光によって得られる広帯域光の発生について解析し、同光の発生機構に関する知見を得た。
3)ファイバーレーザーからの出射光を基板表面に照射し、基板表面上の有機薄膜によって吸収された情報を含む反射光の強度の感度を向上させるための光学系を設計し、数モノ層の有機薄膜が解析できるシステム構築に必要な光学システムに必要な要素を明らかにした。
4)上記指針を基にして、波長可変フェムト秒ファイバレーザーを用いたプラズマ励起表面反応の動的計測装置を実際に構築した。現在、同システムの精密な光学系の調節を行なっており、システムの検出感度を評価している。今後は、有機薄膜とプラズマとの反応場での計測を進めて行く。
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