• 研究課題をさがす
  • 研究者をさがす
  • KAKENの使い方
  1. 課題ページに戻る

2004 年度 実績報告書

プラズマ流体システムの融合化による多元ナノ制御

研究課題

研究課題/領域番号 15360090
研究機関東北大学

研究代表者

西山 秀哉  東北大学, 流体科学研究所, 教授 (20156128)

研究分担者 早瀬 敏幸  東北大学, 流体科学研究所, 教授 (30135313)
佐藤 岳彦  東北大学, 流体科学研究所, 助教授 (10302225)
高奈 秀匡  東北大学, 流体科学研究所, 助手 (40375118)
キーワードプラズマ流体 / 機能性流体 / 多元制御 / ナノ流動 / 複雑干渉 / 微粒子・液滴 / 仮想実験 / 融合化
研究概要

本研究では、プラズマ流体とマイクロ・ナノ粒子およびラジカル、さらには、光センサー、圧力センサー、コントローラと融合化した「プラズマ流体融合システム」を構築した。得られた結果を要約すると、以下のようになる。
1.DC-RFハイブリッドプラズマ流動システムを用いた光触媒用酸化チタンナノ粒子創製プロセスを統計的手法による多入力-多目的最適化設計に基づき、特に入口流量やクウェンチガスの複雑干渉流動場を操作量にすることにより、ナノ粒径分布や結晶構造が制御可能なことを実験的に明らかにした。
2.反応性プラズマ溶射を想定して、基板に衝突するアルゴン・窒素混合プラズマジェットを安定化させるための多元制御システムを開発した。作動圧力と外部磁場を操作量とし、プラズマジェットからの放射光をセンシングすることにより、基板近傍でラジカルからの特定波長の放射強度の定値制御やジェット中心軸および幅の変動強度の抑制に成功した。
3.高周波誘導プラズマによるナノ粒子創製プロセスに凝縮・核生成の現実強化モデルを導入し、数値シミュレーションにより、特にクウェンチガス流量、印加周波数、DCジェット付加により金属ナノ粒子径分布が制御可能であることを明らかにした。

  • 研究成果

    (7件)

すべて 2005 2004

すべて 雑誌論文 (6件) 産業財産権 (1件)

  • [雑誌論文] Statistical Optimization of a DC-RF Hybrid Plasma Flow System for In-Flight Particle Treatment2005

    • 著者名/発表者名
      Kotaro Kawajiri
    • 雑誌名

      International Journal of Heat and Mass Transfer 48・1

      ページ: 183-190

  • [雑誌論文] Development of Feedback Control Systems for an Oscillating Plasma Jet2004

    • 著者名/発表者名
      Hideya Nishiyama
    • 雑誌名

      Vacuum 73・3-4

      ページ: 691-697

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
  • [雑誌論文] Evaluations of Ceramic Spraying Processes by Numerical Simulation2004

    • 著者名/発表者名
      Takehiko Sato
    • 雑誌名

      Materials Transactions 45・6

      ページ: 1874-1879

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
  • [雑誌論文] Numerical Investigation for Nano-Particle Synthesis in an RF Inductively Coupled Plasma2004

    • 著者名/発表者名
      Masaya Shigeta
    • 雑誌名

      Thin Solid Films 457・1

      ページ: 192-200

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
  • [雑誌論文] Reaction Field Analysis of a Non-thermal Plasma Flowing in a Rectangular Reactor2004

    • 著者名/発表者名
      Takehiko Sato
    • 雑誌名

      Thin Solid Films 457・1

      ページ: 78-83

  • [雑誌論文] Fully Coupled 3D Modeling of Plasma-particle Interactions in a Plasma Jet2004

    • 著者名/発表者名
      Kandasamy Ramachandran
    • 雑誌名

      Thin Solid Films 457・1

      ページ: 158-167

  • [産業財産権] プラズマ処理装置およびプラズマ処理方法2004

    • 発明者名
      西山 秀哉, 佐藤 岳彦, 片桐 一成
    • 権利者名
      株式会社東北テクノアーチ
    • 産業財産権番号
      特願2004-381699
    • 出願年月日
      2004-12-28
    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より

URL: 

公開日: 2006-07-12   更新日: 2016-04-21  

サービス概要 検索マニュアル よくある質問 お知らせ 利用規程 科研費による研究の帰属

Powered by NII kakenhi