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2004 年度 研究成果報告書概要

プラズマ流体システムの融合化による多元ナノ制御

研究課題

研究課題/領域番号 15360090
研究種目

基盤研究(B)

配分区分補助金
応募区分一般
研究分野 流体工学
研究機関東北大学

研究代表者

西山 秀哉  東北大学, 流体科学研究所, 教授 (20156128)

研究分担者 早瀬 敏幸  東北大学, 流体科学研究所, 教授 (30135313)
佐藤 岳彦  東北大学, 流体科学研究所, 助教授 (10302225)
高奈 秀匡  東北大学, 流体科学研究所, 助手 (40375118)
研究期間 (年度) 2003 – 2004
キーワードプラズマ流体 / 機能性流体 / 多元制御 / ナノ流動 / 複雑干渉 / 微粒子・液滴 / 仮想実験 / 融合化 / Integrated fusion
研究概要

本研究では、プラズマ流体とマイクロ・ナノ粒子およびラジカルとの混相化、また、プラズマ流体システムの複雑干渉を考慮し、さらには、光センサー、圧力センサー、コントローラと融合化した「プラズマ流体融合システム」を構築した。得られた結果を要約すると、以下のようになる。
1.DCアシスト高周波誘導プラズマシステムを構築し、シースガスおよびキャリアガス流量比の制御や旋回流の有無、反応性ガスの注入位置によるプラズマ流の安定発生域、投入電力、反応ガス注入量およびプラズマの伸長を実験的に明らかにし、本システムの利点を示した。また、作動圧による注入した粒子軌跡やコイル部での流動構造、粒子速度や粒子温度を明らかにし、多元的な制御のための重要因子を提供した。
2.DC-RFハイブリッドプラズマ流動システムを用いた光触媒用酸化チタンナノ粒子創製プロセスを統計的手法による多入力-多目的最適化設計に基づき、特に入口流量やクウェンチガスの複雑干渉流動場を操作量にすることにより、ナノ粒径分布や結晶構造が制御可能なことを実験的に明らかにした。
3.反応性プラズマ溶射を想定して、基板に衝突するアルゴン・窒素混合プラズマジェットを安定化させるための多元制御システムを開発した。作動圧力と外部磁場を操作量とし、プラズマジェットからの放射光をセンシングすることにより、基板近傍でラジカルからの特定波長の放射強度の定値制御やジェット中心軸および幅の変動強度の抑制に成功した。
4.アルカリ蒸気をシードした高周波誘導乱流プラズマ流中のマイクロ粒子の溶融、蒸発の相変化や粒径減少へのシード効果、周波数や乱流効果を数値シミュレーションにより明らかにし、マイクロ粒子プラズマプロセスの制御性能を示した。
5.高周波誘導プラズマによるナノ粒子創製プロセスに凝縮・核生成の現実強化モデルを導入し、数値シミュレーションにより、特にクウェンチガス流量、印加周波数、DCジェット付加により金属ナノ粒子径分布が制御可能であることを明らかにした。

  • 研究成果

    (16件)

すべて 2005 2004 2003

すべて 雑誌論文 (13件) 図書 (1件) 産業財産権 (2件)

  • [雑誌論文] Statistical Optimization of a DC-RF Hybrid Plasma Flow System for In-flight Particle Treatment2005

    • 著者名/発表者名
      Kotaro Kawajiri
    • 雑誌名

      International Journal of Heat and Mass Transfer 48・1

      ページ: 183-190

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
  • [雑誌論文] Statistical Optimization of a DC-RF Hybrid Plasma Flow System for In-flight Particle Treatment2005

    • 著者名/発表者名
      K.Kawajiri
    • 雑誌名

      International Journal of Heat and Mass Transfer 48-1

      ページ: 183-190

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
  • [雑誌論文] Performance Evaluation of Arc Ash Melting Systems by Computation Simulation2004

    • 著者名/発表者名
      Hideya Nishiyama
    • 雑誌名

      Iron and Steel Institute Journal International 44・2

      ページ: 268-274

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
  • [雑誌論文] Development of Feedback Control Systems for an Oscillating Plasma Jet2004

    • 著者名/発表者名
      Hideya Nishiyama
    • 雑誌名

      Vacuum 73・3-4

      ページ: 691-697

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
  • [雑誌論文] Evaluations of Ceramic Spraying Processes by Numerical Simulation2004

    • 著者名/発表者名
      Takehiko Sato
    • 雑誌名

      Materials Transactions 45・6

      ページ: 1874-1879

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
  • [雑誌論文] Numerical Investigation for Nano-Particle Synthesis in an RF Inductively Coupled Plasma2004

    • 著者名/発表者名
      Masaya Shigeta
    • 雑誌名

      Thin Solid Films 457・1

      ページ: 192-200

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
  • [雑誌論文] Performance Evaluation of Arc Ash Melting Systems by Computational Simulation2004

    • 著者名/発表者名
      H.Nishiyama
    • 雑誌名

      Iron and Steel Institute Journal International 44-2

      ページ: 268-274

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
  • [雑誌論文] Development of Feedback Control Systems for an Oscillating Plasma Jet2004

    • 著者名/発表者名
      H.Nishiyama
    • 雑誌名

      Vacuum 73-3-4

      ページ: 691-697

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
  • [雑誌論文] Numerical Investigation for Nano-Particle Synthesis in an RF Inductively Coupled Plasma2004

    • 著者名/発表者名
      M.Shigeta
    • 雑誌名

      Thin Solid Films 457-1

      ページ: 192-200

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
  • [雑誌論文] Evaluations of Ceramic Spraying Processes by Numerical Simulation2004

    • 著者名/発表者名
      T.Sato
    • 雑誌名

      Materials Transactions 45-6

      ページ: 1874-1879

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
  • [雑誌論文] Performance Evaluation of Arc-electrodes Systems for High Temperature Materials Processing by Computational Simulation2003

    • 著者名/発表者名
      Hideya Nishiyama
    • 雑誌名

      Iron and Steel Institute Journal International 43・6

      ページ: 950-956

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
  • [雑誌論文] Performance Evaluation of Arc-Electrodes Systems for High Temperature Materials Processing by Computational Simulation2003

    • 著者名/発表者名
      H.Nishiyama
    • 雑誌名

      Iron and Steel Institute Journal International 43-6

      ページ: 950-956

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
  • [雑誌論文] Handbook of Computational Fluid Dynamics2003

    • 著者名/発表者名
      T.Kobayashi
    • 雑誌名

      Maruzen Pub.Co.

      ページ: 407-419

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
  • [図書] 数値流体力学ハンドブック(第9章,1節 プラズマ流の数値解析)2003

    • 著者名/発表者名
      小林 敏雄
    • 総ページ数
      723
    • 出版者
      丸善
    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
  • [産業財産権] プラズマ処理装置およびプラズマ処理方法2004

    • 発明者名
      西山 秀哉, 佐藤 岳彦, 片桐 一成
    • 権利者名
      株式会社東北テクノアーチ
    • 産業財産権番号
      特願2004-381699
    • 出願年月日
      2004-12-28
    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
  • [産業財産権] プラズマ制御方法、及びプラズマ制御装置2003

    • 発明者名
      西山 秀哉, 佐藤 岳彦, 片桐 一成
    • 権利者名
      東北大学
    • 産業財産権番号
      特願2003-345672
    • 出願年月日
      2003-10-03
    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より

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公開日: 2006-07-11  

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