| 研究概要 |
1.超小型ナノマニピュレータの開発
透過型電子顕微鏡(日立,H-800)内に収納可能な超小型ナノマニピュレータを開発し,走査型電子顕微鏡(日本電子,JSM6500F)内で受動ステージを塑性変形させて粗動調整を行う新しい手法を提案した.また,透過型電子顕微鏡(日本電子,JEM-2100)に装着可能な超小型ナノマニピュレータを試作し,システム全体をPCで一元管理してCCD観察を行い,EDS(エネルギー分散形X線分析装置)によるその場元素分析を可能とした.
2.ナノラボラトリにおける加工・成膜
単一のカーボンナノチューブ(CNT)プローブを用いて,電界電子放出を利用した電子ビーム誘起蒸着(EBID)によって成膜・パターンニングされた元素成分を分析した.W(CO)_6を利用した導電性薄膜を成膜し,EDSにより成分分析した結果,タングステン質量が98%の高純度金属の堆積物が実現できた.また,単一CNTプローブの表面に二酸化ルテニウム(RuO_2)を修飾し,電界放出電圧が約20%低減できることを明らかにした.
3.ナノラボラトリにおける操作・組立
多層CNTの外層の一部を破壊し,内層と外層を分離したナノベアリングユニットであるテレスコピングナノチューブをTEM内で観察しながらその場作製した.透過型電子顕微鏡の高分解能・透過像観察によりこれまで困難であった作製過程を明らかにした.
4.ナノラボラトリにおける計測・評価
多層CNTから作製したテレスコピングナノチューブに外部電界を加えて内層と外層をスライド変位させ,電圧に応じて内層が移動することが確認した.また単一のCNTのエミッション電流変化・テレスコピングナノチューブの外層と内層間の抵抗値変化・CNTと基板間の滑り抵抗変化を利用した新しい距離センサナノデバイスを提案し,基礎特性を計測・評価した.
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