| 研究概要 |
本研究は,フレキシブルマイクロアクチュエータ(FMA)の表面にピエゾ薄膜を形成してセンサ/アクチュエータを作りこみ,各種センシング機能を有した高機能のFMA(スマートFMAと呼ぶ)を試作し,その有用性と可能性を実証することを目的としている.
平成15年度は,チタン薄膜単体の表面に水熱合成法によりピエゾ薄膜および電極を形成するプロセスを確立し,センサおよびアクチュエータとして機能することを確認した.
平成16年度は,前年度の結果に基づいて,ゴム上へのチタン膜形成を試みるとともに,圧電高分子材料および導電性高分子材料の利用についても併せて検討した.
平成17年度は,P(VDF/TrFE)(ポリビニリデンフルオライドトリフロロエチレン共重合体)を溶媒に溶かし,開発したインジェクションシステムを用いて,FMAの表面にパターンを形成する技術を開発した.各種波型のパターンの作成,および,分極処理,電極パターン成形等のプロセス条件を明らかにすることにより,良好なセンシング機能が実現できることを実験で示した.
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